Thermisches Verdampfungssystem mit vier Quellen und Präzision

Temperaturregler

GSL-1700X-EV4 ist ein kompaktes thermisches Verdampfungssystem mit insgesamt 4 Verdampfungsquellentiegeln und präziser und programmierbarer Temperaturregelung. Vier Verdampfungstiegel könnten verwendet werden, um mehrere unterschiedliche Materialien abzuscheiden, um mehrschichtige Filme nacheinander in derselben Kammeratmosphäre wachsen zu lassen. Das System eignet sich zum Beschichten der meisten metallischen und organischen Materialfolien bis zu einer Größe von 2 Zoll bei 200 ºC bis 1500 ºC (oder 200 ºC - 1700 ºC mit einem optionalen Thermoelement vom Typ B).

SPEZIFIKATIONEN:

Struktur & Merkmale	280 mm Außendurchmesser x 260 mm Innendurchmesser x 310 mm hohe Quarzkammer für einfache Reinigung und Probenbeladung 2" Dia drehbare Verdampfungsquellen für die gleichmäßige Filmbeschichtung Heizwendel aus Wolfram und Tiegel aus Aluminiumoxid für Hochtemperaturbeschichtungen bis 1700 ºC Präzise Temperaturregelung mit 30 programmierbaren Segmenten und einer Genauigkeit von +/- 1 ºC Über eine optionale Turbopumpe kann ein Hochvakuum von bis zu 1,0E-5 Torr erreicht werden Gasdurchflussöffnung und Ventil sind für Kammerspülung und CVD-Möglichkeit eingebaut
Eingangsleistung	Eingangsspannung: AC 208 - 240 V 50/60 Hz, einphasig (110 V AC ist über einen 1500-W-Transformator verfügbar) Eingangsleistung: 1.200 W Ausgangsleistung: 12 V und 30 A max. Strom. Empfohlener Arbeitsstrom <30 A Inklusive Netzkabel ohne Stecker
Temperaturregelung &amp; Heizungen	Vier Aluminiumoxid-Verdampfungstiegel mit jeweils 3 ml Fassungsvermögen. Vier Quellen können nicht gleichzeitig verwendet werden. Die mehrschichtige Ablagerung würde einzeln erfolgen. Am Boden des Tonerdetiegels ist eine Wolframwendelheizung mit einem Thermoelement eingebaut (zur Temperaturregelung (Abb. 1). Die Abmessungen entnehmen Sie bitte dem linken Bild Standard-Thermoelement vom Typ S (im Lieferumfang enthalten und installiert) - Erwärmung von 200 ºC - 1500 ºC (BILD 2) Optionales Thermoelement Typ B (gegen Aufpreis) - Heizung von 1200 ºC - 1700 ºC Ein digitaler Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten und +/- 1 ºC Genauigkeit (BILD 3) Die Zeiteinstellungen des Temperaturreglers erfolgen in Sekunden. Es wird empfohlen, die Aufheiz-/Abkühlrate auf 0,3 ºC/s (oder 20 ºC/min) unter 1200 ºC und von 1200 - 1700 ºC auf 0,15 ºC/s (oder 10 ºC/min) zu begrenzen Begrenzen Sie bei Dauererhitzung über 1300 ºC die Betriebszeit auf weniger als 1 Stunde, um die Lebensdauer des O-Rings am unteren Flansch zu erhalten Für eine schnelle Beschichtung bis zu 2000 °C, wie sie bei der Kohlenstoffbeschichtung erforderlich ist, kann der Benutzer das Thermoelement, den Aluminiumoxid-Thermoblock und den Aluminiumoxidtiegel entfernen, Verdampfungsmaterial direkt in die Wolframspulenheizung laden und den aktuellen manuellen Steuermodus verwenden (Abb. 4 ) Vier Aluminiumtiegel (bis 1700 ºC) und zwei Wolframwendelheizer sind im Lieferumfang enthalten. Informationen zur Bestellung von Ersatzteilen finden Sie im Abschnitt „Optional“.
Drehbarer Probenhalter	Ein 50 mm Durchmesser. Der drehbare Probentisch und sein Verschluss sind am oberen Flansch installiert. Drehzahl: 5 U/min Der Abstand vom Probenhalter zur Verdampfungsquelle ist von 40 mm bis 85 mm einstellbar
Schichtdickenanalysesystem (optional)	Präzisions-Dünnfilm &amp; Beschichtungsanalysesysteme - EQ-TFMS-LD ist gegen Aufpreis erhältlich.
Vakuum	Der Vakuumanschluss KF25 ist zum Anschluss an eine Vakuumpumpe installiert Das höchste Vakuum kann <1E-5 Torr erreichen, wenn über Nacht mit einer optionalen Turbomolekularpumpe gepumpt wird Für die Beschichtung wird eine Vakuumpumpe benötigt. Bitte wählen Sie aus den folgenden Produktoptionen Zweistufige Drehschieber-Vakuumpumpe mit Dampffalle zur Beseitigung des Ölnebels, der ein Vakuum von bis zu 1,0E-2 Torr erreichen kann, um edelmetallische Materialien wie Gold, Silber und organische Materialien zu verdampfen.
Gaseinlass	Zur Kammerspülung oder Formiergasaufbereitung ist eine 1/4-Rohrverschraubung eingebaut Ein Nadelventil ist eingebaut, um die Gasdurchflussrate zu steuern
Optional	Ein zusätzlicher Aluminiumtiegel und eine Wolframwendelheizung können bei TMAX gegen Aufpreis bestellt werden
Gesamtabmessungen
Abmessungen der Quarzkammer	Außendurchmesser: 280 mm (11") Innendurchmesser: 260 mm (10,2") Länge: 310 mm (12,2")
Beachtung	CE-Zertifikat
Garantie	Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung
Reingewicht	80 kg
Versandgewicht & amp; Maße	200 Pfund, 40" x 30" x 32"
Anwendungshinweise	Um das für die Verdampfung einiger Materialien erforderliche Hochvakuum zu erreichen, kann der Benutzer Überprüfen Sie die Kammer, den O-Ring und den Flansch auf Partikel, Fasern oder Kratzer. Verwenden Sie ein mit Isopropylalkohol (IPA) befeuchtetes, fusselfreies Tuch, um die Oberfläche zu reinigen Verwenden Sie ein Heizband, um die Kammer bei 150 ºC zu backen, und heizen Sie die Wendelheizung und den Tiegel auf 500 ºC vor, während Sie mit der optionalen Turbopumpe mindestens 2 Stunden lang pumpen Pumpen Sie die Kammer über Nacht ohne Heizung, wenn ein Vakuum höher als 1,0E-5 Torr benötigt wird Starten Sie das Heizprogramm NICHT und erhöhen Sie den Strom NICHT ohne geschlossene Kammer und Vakuum! Lassen Sie das Vakuum NICHT ab und hören Sie nicht auf zu pumpen, wenn sich der Beschichter im Verdampfungsbetrieb befindet! Während die Heizung abkühlt, stoppen Sie das Pumpen oder lösen Sie das Vakuum NUR, wenn die Temperatur unter 100 ºC gesunken ist!