Produkte
Plasma Sputtering Coater

Kombinatorische Plasma-Sputter-Beschichtungsmaschine mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen und HF/DC-Leistung

  • Model Number:

    VTC-600-3HD-LD
  • :

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
Produktdetails


Kombinatorischer Plasmasputter-Beschichter mit drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterquellen und HF/DC-Netzteilen

VTC-600-3HD-LD ist ein kombinatorisches Plasma-Sputtersystem mit drei 2“-Magnetron-Sputterquellen und drei HF/DC-Stromversorgungen. Ein solches Sputtersystem ist in der Lage, bis zu drei verschiedene Targetmaterialien gemeinsam zu sputtern und verschiedene Zusammensetzungsprofile über das Substrat hinweg zu erzeugen (z. B. ternäre Materialien für Li-Ionen-Akkus) . Dieses System eignet sich auch für die sequentielle Beschichtung von mehrschichtigen Filmen wie ferroelektrischen, Legierungs-, Halbleiter-, Keramik-, Dielektrikum-, optischen, Oxid-, Hart-, PTFE-Filmen usw.


SPEZIFIKATIONEN


Kompakte Struktur


Eingangsleistung

  • Einphasig 220 VAC 50 / 60 Hz
  • 2000 W (einschließlich Vakuumpumpe und Wasserkühler)




Quellkraft

  • Drei Sputterstromquellen sind in einer Steuerbox integriert (Klicken Sie auf das Bild unten, um detaillierte Spezifikationen zu sehen)
    • Gleichstromquelle: 500 W Leistung zum Beschichten von metallischen Werkstoffen (Bild 1)
    • HF-Quelle: 300 W Leistung, 13,56 MHz Frequenz zum Beschichten von nicht leitenden Materialien (Bild 2)






Magnetron-Sputterkopf

  • Drei 2-Zoll-Magnetron-Sputterköpfe mit Wasserkühlmänteln und Rollläden sind im Lieferumfang enthalten
  • Ein Sputterkopf-Modell ist ebenfalls erhältlich.
    • Erforderliche Zielgröße: 2" Durchmesser
    • Dickenbereich: 0,1 - 5 mm für sowohl metallische als auch nichtleitende Targets (einschließlich Trägerplatte)
    • Einer Zielscheibe aus Edelstahl und eine Forschungsnote Al2O3-Ziel sind für Demo-Tests enthalten
    • Optionale 2-Zoll-Sputtertargets (oder Trägerplatte) sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.
    • Empfohlenes Sputter-Rezept und nützliche Tipps
  • Kundenspezifischer Beschichter: Zwei DC – Ein RF; Zwei RF – ein DC; Drei Gleichstrom; Drei RF (Bitte wählen Sie aus den Produktoptionen)
  • Optional: 148 cm langes HF-Kabel kann gegen Aufpreis zum Austausch bestellt werden




Vakuumkammer

  • Vakuumkammer: 300 mm Durchmesser. x 300 mm Höhe, aus Edelstahl
  • Sichtfenster: Zwei Stücke mit 100 mm Durchmesser. Glas. Einer fest; einer zum Reinigen und Austauschen abnehmbar
  • Aufklappbarer Deckel mit pneumatischem Strommast ermöglicht einen einfachen Zielwechsel




Beispielphase

  • Der Probenhalter ist ein dreh- und beheizbarer Tisch aus Keramikheizung mit Kupferabdeckung
  • Probenhaltergröße: 140 mm Dia. zum. 4" Wafer max
  • Rotationsgeschwindigkeit: 1 - 20 U/min einstellbar für gleichmäßige Beschichtung
  • Die Haltertemperatur ist von RT bis max. 500 °C (max. 2 h) mit einer Genauigkeit von +/- 1,0 °C über einen digitalen Temperaturregler einstellbar

Gasflusskontrolle

  • Zwei Präzisions-Massendurchflussregler (MFC) sind installiert, um den Einlass von zwei Arten von Gasen zu ermöglichen

    • Flussrate: 0 – 200 ml/min & 0 - 100 ml/min einstellbar auf dem Touchscreen-Bedienfeld
  • Zur Vakuumentlastung ist ein Lufteinlassventil installiert

Vakuumpumpstation

  • Eine mobile Pumpstation ist im Lieferumfang enthalten. Der Sputter Coater kann auf der Station platziert werden
  • Die Hochgeschwindigkeits-Turbopumpe mit einer Geschwindigkeit von 80 l/s wird mit einer zweistufigen mechanischen Pumpe (220 l/min) kombiniert, um ein maximales Vakuumniveau und eine schnellere Pumpgeschwindigkeit zu erreichen
  • Standard-Vakuumniveau verbunden mit Kammer: < 4,0E-5Torr. . (1.0E-6 Torr mit Kammerbacken)
  • Wahlweise gegen Aufpreis
  • Wenn Sie eine 150L/S Hochgeschwindigkeits-Turbopumpe wählen, kann das Vakuum 10-6 Torr mit Kammer erreichen (6x10-7 Torr mit Backen)
  • Für das Ultrahochvakuum bis 10^-7 Torr wird zusätzlich zur Turbopumpe eine Getterpumpe (100L/s H2 & O2) benötigt. Bitte konsultieren Sie unsere Ingenieure für detaillierte Anpassungen.
  • 150L/S Hochgeschwindigkeits-Turbopumpe
  • Getter-Pumpe

Wasserkühler

  • Eine digitale Temperaturregelung Umlaufwasserkühler ist enthalten.
  • Kühlbereich: 5~35 °C
  • Durchflussrate: 16 l/min
  • Pumpendruck: 14 psi




Optional

  • Präziser Quarz Filmdickenmonitor ist optional und kann in die Kammer eingesetzt werden, um die Beschichtungsdicke mit einer Genauigkeit von 0,10 Å zu überwachen
  • Präzision Dünnfilm & Beschichtungsanalysesysteme - EQ-TFMS-LD ist gegen Aufpreis erhältlich
  • Verschiedene 2“-Oxid- und Metall-Targets sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. Trägerplatten aus Silberepoxid und Kupfer können bei TMAX bestellt werden


Gesamtabmessungen

Nettogewicht des Beschichters

  • 160 Kilogramm

Versandgewicht & amp; Maße

  • Insgesamt 3 Paletten
  • 365 Pfund, 48" x 40" x 45"

  • 390 Pfund, 48" x 40" x 49"

  • 210 Pfund, 48" x 40" x 30"

Beachtung

  • CE-Zulassung
  • MET-Zertifizierung (UL 1450) ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich, bitte kontaktieren Sie unseren Vertriebsmitarbeiter für ein Angebot.

Garantie

  • Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung

Anwendungshinweise

  • Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Gasausgangsdruck für eine sichere Verwendung auf unter 0,02 MPa zu begrenzen
  • Um Sauerstoff aus der Kammer zu entfernen, empfiehlt TMAX, die Kammer 2-3 Mal mit 5 % Wasserstoff + 95 % Stickstoff zu reinigen, wodurch der Sauerstoffgehalt auf < 10 ppm
  • Bitte verwenden Sie > 5N reines Argongas für das Plasmasputtern. Obwohl 5N reines Ar normalerweise je nach Anbieter 10 - 100 ppm Sauerstoff und H2O enthält. TMAX empfiehlt Ihnen die Verwendung Gasreinigungsgerät um das Gas vor dem Einfüllen zu reinigen.
  • Für beste Leistung müssen die nichtleitenden Targets mit einer Kupferträgerplatte installiert werden. Bitte beachten Sie das Anleitungsvideo unten für die Zielverklebung
  • TMAX liefert Einkristallsubstrate von A bis Z
  • TMAX Sputtering Coaters haben erfolgreich ZnO auf Al aufgetragen 2 Ö 3 Substrat bei 500 °C
  • Testen Sie die Flexibilität der Dünnfilm-/umhüllten Elektrode mit EQ-MBT-12-LD Dornbiegeprüfgerät .
  • HOCHSPANNUNG! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener den HF/DC-Generator abschalten, bevor Proben geladen und Targets gewechselt werden
  • Verwenden Sie KEIN Leitungswasser im Wasserkühler. Muss Rostschutz-Kühlmittel verwenden, um Rost und Korrosion zu verhindern.

Coater