Eingangsspannung

• 220 VAC 50/60Hz
• 110-V-Strom ist verfügbar, indem a verwendet wird 1000-W-Transformator (15-A-Sicherung ). Der Transformator ist separat erhältlich.

Ausgangsleistung

• 1600 VDC
• 250 W
• 150mA max.
• Eingebauter Überstromschutz (>150 mA)

Probenkammer

• Quarzglasrohr, 165 mm AD. X 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe

Sputterkopf & amp;
Probenphase

• 2“ flexibler Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlmantel ist im Lieferumfang enthalten (Abb.1)
• Ein Edelstahl-Probentisch mit 50 mm Durchmesser ist von 0 - 5 U/min drehbar
• Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz. (Abb.2)
• Zum Halten des Sputterkopfs im Ruhezustand ist ein Sputterkopfhalter erhältlich.
• Der Abstand zwischen Sputterkopf und Probentisch ist von 60 - 100 mm einstellbar.
• Max. Beschichtungsbereich: 4" Durchmesser max.
• Einer Air Cold Umlaufwasserkühler 10 l/min Durchfluss ist zum Kühlen des Sputterkopfes enthalten. (Abb.6)
• 

Schalttafel

• 6-Zoll-Farb-Touchscreen-Bedienfeld mit SPS-Integration für eine einfache Bedienung
• Ein Panel zur Überwachung und Steuerung aller Parameter: Vakuum, Strom.

Ultimativer Vakuumdruck

• Eingebauter KF25-Vakuumanschluss
• Das System erfordert einen Ar-Gastank mit Druckregler. (nicht enthalten)
• < 1,0E-2 Torr durch Flügelzellen-Vakuumpumpe (nicht enthalten) für Au-, Ag-, Pt-, Cu-, Mo-Targets (luftunempfindlich)
• < 1.0E-5 Torr durch Turbomolekularpumpe (nicht enthalten) für Al-, Mg-, Li-, Lr-, Ti-, Zn-Targets (luftempfindlich)
• Das niedrigste Vakuum kann < 4,0E-6 Torr durch Pumpen über Nacht und Backen

Gasatmosphäre

• Ein Nadelventil installiert, um den Einlass von Ar-Gas zu ermöglichen, um eine bessere Plasmabeschichtung zu erreichen
• Das System erfordert einen Ar-Gastank mit Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten).

Ziel

· Ein 2-Zoll-Kupferziel ist zum Testen enthalten, Zielgröße: 2 Zoll Durchmesser x 2,5 mm.

• Es kann auch beschichten Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg , etc. fast jede Art von metallischem Material.
• Warnung : Aluminium-, Chrom- oder Nickel-Target kann mit dieser Maschine beschichtet werden, aber bitte sehen Sie sich vor der Verwendung die empfohlene Beschichtungsmethode an.
• Bitte verwenden Sie HF-Plasma-Magnetron-Sputtern zum Beschichten von Aluminiumoxid

Optionaler Filmdickenmonitor

• Filmdickenüberwachung ist optional gegen Aufpreis erhältlich
• Beheizbarer Probentisch bis 500°C ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich
• Durchflussmesser für genaue Steuergaszufuhr ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich.

Gesamtabmessungen

• L 440 mm × B 330 mm × H 290 mm

Reingewicht

• 20 kg

Versandgewicht & amp; Abmessungen

• 160 Pfund
• 45" x 45" x 40"

Beachtung

• CE-Zulassung
• Die NRTL-Zertifizierung ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich. Bitte wenden Sie sich für ein Angebot an unseren Vertriebsmitarbeiter.

Garantie

• Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support

Anwendungshinweise

• Warnung: Der Sputterkopf wird an HOHE Spannung angeschlossen. Der Bediener muss während des Betriebs Handschuhe tragen
• Stellen Sie sicher, dass das Target, der Sputterkopf, das Substrat und die Heizstufe vor dem Beschichten sauber sind. Verwenden Sie Sandpapier und Alkohol, um das Al- oder Nickel-Target jedes Mal zu reinigen und zu erneuern.