Rotary PECVD Rohrofen (60 mm OD) mit einer einzigen Heizung Zone bei 1200 ° C Max.

TMAX-DSP-1200PECVD-XZ s liegt drei Zeitzone 1200ºC PE-CVD Rohr Ofenanlage besteht aus 500W RF Plasmaquelle, Rohrofen mit einer integrierten Kanal Präzision Masse Durchflussmesser mit Gas Mischbehälter, und ein qualitativ hochwertige ölfrei Vakuumpumpe. solch einen PE-CVD-Ofen ist ein neues Tool zu wachsen Nanodraht oder Graphen oder SiC-Beschichtung.

technische Daten:

Power	3,5 KW
Tube Größe	Dia 60(OD) X1200mm
Produkt Abmessungen (mm)	1300 x 420 x 1200
Tube rotierende Geschwindigkeit	0 - 25 u/min variabel
Ofen kippen Winkel	-10-30 °
bietet	1. zwei programmierbare Präzision Temp. Controller mit 30 Segmente. 2. zwei getrennt regulierbare Heizung Zonen: 200mm Länge für jede Zone 400mm insgesamt in Heizung Heizung Länge 250mm konstante zentrale Temperatur, die Heizfläche, wenn beide Zonen gleichzeitig erhitzt wurden Temperatur
Ofen Strukturen	1. Split Rohrofen mit Schiebe-Schiene 2. Max 1150ºC für durchheizen 3. Multi-programmierbare Präzisions digital Temperaturregler mit 30 Segmente. 4. Eingangsleistung: 208-240V AC input, Single Phase bei Max. 4kW
Plasma RF Power Supply	1. Ausgangsleistung: 5 - 500W verstellbar mit ± 1 % Stabilität. 2. RF Frequenz: 13,56 MHz ±0.005 % Stabilität. 3. Reflexionsleistung: 10W Max. 4. passend: Automatische 5. HF-Ausgang Hafen: 50 Ω, N-Typ, weibliche 6. Lärm: < 30 dB. 7. Kühlung: Luftkühlung. 8. macht: 208-240VAC, einphasig, 50 / 60Hz
Anti-korrosiv Druck Messen	1. 3.8x10 -5 , 1125 Torr Messung Bereich 2. Anti-korrosiv, Gasart unabhängige 3. hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit bei Atmosphäre für zuverlässige Atmosphärendruck Erkennung 4. schnelle atmosphärische Erkennung beseitigt Wartezeit und verkürzt Prozess Zyklus 5. einfach zu tauschen Plug & play-sensor Element
Vakuumpumpe Station und Ventile	1. Pfeiffer High-Speed (120L/min) ölfreien Trockene Vakuumpumpe, 10E-3 Torr Limit ist in die heavy Duty installiert mobilen Wagen 2. KF25 Adapter und Rohr aus rostfreiem Stahl sind Verbindung zwischen Pumpe und Rohr Flansch mit Kugelhahn für Kundenstecker und spielen 3. 10E-2 Torr Vakuum kann erreicht werden im Inneren Verarbeitung Rohr
Masse Durchflussmesser & Gas Mixing Station	sich in befindet einem Heavy-Duty mobilen Wagen wo die Rohrofen auf der Oberseite platziert werden können. LCD-Touchscreen ist integriert, um einfache Steuerung auf den Gasstrom zu bieten Rate der einzelnen unabhängige Kanäle. 1. Betriebstemperatur: 5 ~ 45 ° c 2. Max. Druck: 3 x 10 6 Pa 3. Genauigkeit: ±1.5 % FS 4. Liner: ±(0.5-1.5) % f.s. 5. doppelte Genauigkeit: ±0.2%F.S. 6. Kontrolle Bereich: 5,10,20,30,50,100,200,300, 500SCCM oder 1,2,3,5, 10SLM.
Heizung & Kühlung Preise	RS485 Port und Software installiert sind und ermöglichen Remote-Control Temperatur Profil von PC. zur Erreichung Max.heating Rate, muss der Benutzer Vorheizen Ofen zu wünschen übrig Temperatur, dann Folie des Ofens der Probe Zone von der Röhre zur Erreichung die Max. Kühlung Rate, bewegen Sie den beheizten Ofen aus der heißen Zone zu kalt Zone Heizung Rate: 15° C/s (RT - 150 ° C); 10° C/s (150° C - 250° C); 7° C/SEK (250° C -350 ° C); 4° C/sec (350° C -500 ° C); 3° C/sec (350° C -550 ° C); 2° C/sec (550° C -650 ° C); 1° C/sec (650° C -800 ° C); 0,5 ° C/s (800° C - 1000° C); Kühlung Rate: 15° C/s (1000-950° C); 10° C/s (950° C - 900° C); 7° C/s (900° C - 850° C); 4° C/s (850° C - 750° C); 2° C/s (750° C - 600° C); 1,5 ° C/s (600° C - 500° C); 1° C/s (500° C - 400° C); 0,5 ° C/s (400° C - 300° C);
Garantie	beschränkte ein Jahr Garantie mit Lebensdauer unterstützen.
Application Notes	Rohröfen mit Quarzröhren sind konzipiert für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck < 0,12 MPa (absolute Druck). Achtung: A zweistufige Druckminderer muss installiert sein, auf der Gasflasche zu begrenzen der Druck, unter 3 PSI für einen sicheren Betrieb. die Durchflussmenge für Gase ist auf < 200 SCCM (oder 200 ml/min) zur Verringerung der beschränken thermische Schocks auf das Rohr. Vakuum Grenze Definition für alle Quarz Rohröfen: * Vakuum Druck möglicherweise nur sicher verwendet bis zu 1000° C. für den Betrieb PECVD-System mit Schlauch größer als 4", bitte immer mehr als 1 Meter Entfernung von der Plasmaquelle nach der Plasmagenerator beginnt arbeiten.

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