Struktur

· Aluminiumgussgehäuse für stabiles Schleudern

· Ablauf und Vakuumpumpenanschluss befinden sich auf der Rückseite

· Ein Filter ist im Standardpaket enthalten. Es dient zum Anschluss der Pumpe und des Beschichtungsgeräts, damit kein Abwasser in die Pumpe fließt

· Eine ölfreie Pumpe ist schloss ich ein n das Standardpaket.

Kammer & amp; Vakuumspannfutter

· Der Kammerdurchmesser beträgt 250 mm und kann Wafer mit einem Durchmesser von maximal 8 Zoll oder einem Quadrat von 5 Zoll x 5 Zoll aufnehmen

· Die Spinnkammer besteht aus korrosionsbeständigem PP

· Ein 6 "Vakuumspannfutter und ein O-Ring für das Halten von 6" - und 8 "-Wafern sind im Lieferumfang enthalten

· Zum Beschichten von unregelmäßig geformten Substraten oder Wafern mit einer Größe von & lt; 6

Schleuderdrehzahl

· Digitales Bedienfeld mit zwei programmierbaren Segmenten mit unterschiedlichen Schleuderzeiten und -geschwindigkeiten

· 500 - 6000 U / min einstellbare Schleuderdrehzahl für jedes Segment

Flüssigkeit injizieren

· 20-ml-Spritze wird verwendet, um das Beschichtungsmaterial zu enthalten

· Die Höhe des Spritzenhalters kann frei entlang der Stützstange eingestellt und gedreht werden

Optional

· Sie können eine elektronische Präzisions-Einkanalpipette wählen: 20 - 200 μl für eine genauere Beschichtung

· Die Verwendung von Plasma-Reinigern zur Behandlung der Substratoberfläche vor dem Beschichten kann die Filmqualität verbessern

· Sie können unser neues Produkt in Betracht ziehen: beheizbare Spritze

· Vakuum-Flash-Baugruppe für DIY-Vakuum-Flash-unterstützte Lösungsprozesse (vasp), bis zu 5 mTorr verfügbar

· Heizdeckel mit digitalem Temperaturregler bis 100 ° C (max. Dauer & lt; 1 Minute) ist gegen Aufpreis erhältlich ($ 2495), wodurch die Probe vor Ort während und nach dem Beschichten getrocknet werden kann.

Eingangsleistung

· AC 110V / 220V wählbar

· Auf der rechten Seite des Vtc-200 befindet sich eine eingebaute Steckdose. Es dient zur Stromversorgung der Vakuumpumpe. Die Ausgangsspannung dieses Netzteils hängt von der Eingangsspannung des Hauptstromkreises des Spin Coaters ab. (z. B. wenn der Schleuderbeschichter an die 110-V-Wechselstromsteckdose angeschlossen ist, liefert die eingebaute Steckdose 110-V-Wechselstrom.)

Motorleistung

90VDC, 150W

Produktabmessungen

500 mm (l) x 400 mm (d) x 400 mm (h)

Nettogewicht

20 kg

Beachtung

· ce zertifiziert

Garantie

· Ein Jahr mit lebenslanger Unterstützung

· Rost und Schäden, die auf unsachgemäße Lagerung oder Wartung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Garantie