Labor-CSS-Ofen mit zwei Zonen für die schnelle thermische Bearbeitung von Wafern mit bis zu 5 Zoll Durchmesser bei max. 800 °C - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 ist ein schneller Wärmebehandlungsofen mit einer Quarzkammer mit einem Innendurchmesser von 11 Zoll. Er ist für die thermische Verdampfung oder CSS ( Sublimation mit engen Abständen ) Filmbeschichtung bis zu 5" Dia. Rundproben und 800°C max. Der Ofen wird durch zwei Gruppen von Halogenheizungen (oben und unten) separat mit max. 10ºC/s Erwärmungsrate. Zwei 30-Segment-Präzisions-Temperaturregler sind mit einer Genauigkeit von +/-1ºC eingebaut. RS485-Anschluss und Steuerungssoftware sind enthalten, um den Betrieb der Ofen- und Temperaturprofilprotokollierung über einen PC zu ermöglichen. Es ist ein hervorragendes Werkzeug zur Erforschung von Dünnschichten der neuen Generation für Solarzellen, wie z. B. CdTe-, Sulfid- und Perowskit-Solarzellen.

SPEZIFIKATIONEN:

Ofenstruktur & Vakuumkammer	· Zwei Temperaturregler. · Die Kammer besteht aus hochreinem Quarzglasrohr. · Quarzrohrgröße: 11" AD/10,8" ID x 9" H · Die Vakuumflansche bestehen aus Edelstahl 316.
Vakuumflansche	· Der obere Flansch mit einem KFD-25-Vakuumanschluss und einem Gasauslass (1/4-Zoll-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten geschoben werden, um das Substrat und das verdampfte Material einfach zu laden und zu entladen. · Der untere Flansch hat einen KFD-25-Vakuumanschluss mit einem Gaseinlass (1/4"-Rohr erforderlich) mit Nadelventilen. · Der Flansch wird durch doppelte Silikon-O-Ringe abgedichtet und kann max. der Vakuumdruck von 10E-2 Torr durch eine hochwertige mechanische Pumpe und 10E-5 Torr durch eine Molekularpumpe (Vakuumpumpe ist nicht enthalten, bitte separat bestellen). · Am oberen Flansch ist ein digitales Vakuummeter installiert. · Präzisions-Antikorrosions-Digital-Vakuummeter ist im Standardpaket enthalten (seit 2016.03.24) .
Gasflusskontrolle	Gasmischer integriert mit zwei Float-Metern mit einstellbaren Messbereichen von 16 -160 mL/m
Heizung und Probenhalter	· Zwei unabhängig voneinander regelbare Heizungen mit einem manuell einstellbaren Abstand von 2 - 30 mm. · Als Heizelement für die schnelle thermische Bearbeitung werden 20 Stück Halogenlampen verwendet. · Die Heizungen bestehen aus Edelstahl mit Wasserkühlmantel, um die Wärmestrahlung zu reduzieren und eine schnelle Abkühlung zu ermöglichen. · Der runde Waferhalter mit einem Durchmesser von 5 Zoll ist in die obere Heizung eingebaut, um das Substrat zu halten. · Ein Satz hochwärmeleitfähiger AlN-Platten oder Graphitplatten (12,7 cm Durchmesser x 0,5 mm dick) ist im Lieferumfang enthalten (zum Verdampfen von Material auf den Boden legen). · Ein zirkulierender Wasserkühler mit 58 l/min ist enthalten, um Wasser zu sparen (klicken Sie auf das Bild unten, um detaillierte Spezifikationen zu sehen).
Temperaturregler	· Zwei präzise digitale Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten bieten eine unabhängige Steuerung der Ober- und Unterhitze. · Jeder Controller verfügt über eine PID-Autotune-Funktion zum Schutz der Heizungen vor Überschwingen und eine Alarmfunktion, um eine Überhitzung und einen Bruch eines Thermoelements zu vermeiden. · PC-Kommunikationsschnittstelle & Software zur Aufzeichnung des unten gezeigten Temperaturprofils installiert ist. ·
Arbeitstemperatur	· Höchsttemperatur für jede Heizung: <= 800ºC. · Maximaler Temperaturunterschied zwischen zwei Heizungen: <= 300ºC abhängig vom Abstand zwischen zwei Heizungen: Ö Abstand 30 mm max. Temperaturunterschied: 315ºC bei nur Bodenheizung
Heizung & Kühlrate	· Heizung: < 8ºC/s (nur Heizen mit Einzelheizung) · Kühlung: < 10 °C/s (600 - 100 °C) max.
Thermisches Paar	Zwei Thermoelemente vom Typ K sind separat an der oberen und unteren Heizung installiert.
Betriebsspannung	220 VAC, einphasig, 60 A Luftunterbrecher erforderlich
Leistungsbedarf	9,5 KW insgesamt
Maße	1085 mm L x 680 mm B x 1710 mm H
Versandgewicht & amp; Abmessungen	· Zwei Paletten: 525 lbs und 48" x 40" x 87" und 165 lbs mit den Abmessungen 39x31x29".
Optional	· Es wird eine Vakuumpumpe benötigt. Bitte bestellen Sie separat, indem Sie auf das erste Bild von links unten klicken. Das Vakuumniveau kann < = 10E-2 Torr durch mechanische Pumpe. · Wenn Sie korrosives Gas verwenden, ziehen Sie bitte in Betracht, die im zweiten Bild von links unten gezeigte korrosionsbeständige Trockenpumpe (Pfeiffer-Pumpe aus Deutschland) gegen Aufpreis zu verwenden. · Sie können das digitale MFC-Gasversorgungssystem auswählen, indem Sie auf das erste Bild rechts unten klicken.
Garantie	Ein Jahr begrenzt mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsteile wie Quarzröhre und Heizlampen sind nicht von der Garantie abgedeckt).
Laptop, Software & WLAN-Steuerung (optional)	· Brandneuer Laptop mit Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlos testen) zur sofortigen Nutzung. · Labview-basiertes Temperaturkontrollsystem ( EQ-MTS01 ) ermöglicht es dem Benutzer, Temperaturprofile zu bearbeiten, Wärmebehandlungsrezepte zu verwalten, Daten für MTI-Öfen aufzuzeichnen und darzustellen. · Eine drahtlose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern. · Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage gegen Aufpreis (bis zu 1.000 USD) verfügbar. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen. · Notiz: Die Software ist nur kompatibel mit Tmax ’s Yudian Temperaturregler
Anwendungshinweise & Warnungen	· Die Rohröfen mit Quarzrohr sind für den Einsatz unter Vakuum und Niederdruck < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa. Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000°C sicher verwendet werden. Die Durchflussrate für Gase sollte auf < 200 SCCM (oder 200 ml/min) zur Reduzierung von Temperaturschocks am Schlauch. · Aufmerksamkeit : An der Gasflasche muss ein zweistufiger Druckregler installiert sein, um den Druck für einen sicheren Betrieb auf unter 3 PSI zu begrenzen. · Das Fußgestell dieses Ofens ist für den Transport über kurze Distanzen auf ebenem Untergrund ausgelegt