Desktop-Ultraviolett (UV)-Ozonreiniger mit Substratheizung zum Reinigen aller Arten von Substraten

Merkmale

TMAX-PCE-22 ist ein Desktop-Ultraviolett (UV)-Ozonreiniger mit Substratheizung , die wird zur Reinigung aller Arten von Substraten verwendet um eine bessere Dünnschichtqualität zu geringen Kosten zu erzielen. Außerdem ist es ein hervorragendes Werkzeug zum Entfernen und Ablösen von Fotolack, zur Verbesserung der Oberflächenbenetzbarkeit, zum Reinigen von SEM & TEM-Proben, UV-Polymeraktivierung, Montage etc.

UV-Ozon-Reiniger hat sich bewährt sehr effektiv zur säurefreien, trockenen, zerstörungsfreien Atomreinigung und Entfernung organischer Verunreinigungen mit intensivem 185 nm und 254 nm UV-Licht . Unter Luft- und Raumtemperatur produziert die Linie 185 Ozon und die Linie 254 regt organische Moleküle auf der Oberfläche an. Diese Kombination treibt die schnelle Zerstörung und Dezimierung organischer Schadstoffe voran.

Spezifikationen

Eingangsleistung	· AC 220 V, 50/60 Hz, (110 V AC auf Anfrage erhältlich) · Leistung 350 W max.
Umgebungsanforderung	· Nur Innen benutzen; Höhennutzung bis zu 5.500 Fuß; · Temperaturbereich 41-104 Grad Fahrenheit; · Maximale relative Luftfeuchtigkeit 80 %, bis zu 87 Grad Fahrenheit, linear abnehmend bis 50 % relative Luftfeuchtigkeit bei 104 Grad Fahrenheit; · Schwankungen der Hauptstromversorgung dürfen 10 % der Nennspannung nicht überschreiten; Überspannungskategorie II; · Verschmutzungsgrad 2; Messung des Ozongehalts (Umgebung) bei <45 ppb.
UV-Lampe	· Doppelwellige Quecksilberlampe aus massivem Metall · Wellenlänge: 253,7 nm und 184,9 nm · Lebensdauer der UV-Lampe: 5000 Std · UV-Lichtfläche: 200 x 200 mm · Kann Kristallwafer mit einem Durchmesser von bis zu 12“ x 35 mm Dicke reinigen. · Die UV-Lampe wird separat mit der Maschine versandt, um mögliche Transportschäden zu vermeiden.
Kammer & Beispielphase	· Hülle aus rostfreiem Edelstahl · Schiebeschublade zum einfachen Laden von Proben · Die Probentischfläche beträgt 310 mm x 320 mm (~12"x12") · max. Probendicke: 40 mm · Ozon-Entlüftungsvorrichtung ist in der Kammer eingebaut · Timer reicht von 0,01 Sekunden bis 99,9 Stunden.
Beheizbarer Probentisch	· Der Probentisch ist mit dem Präzisions-Temperaturregler auf bis zu 150 °C beheizbar · Der Temperaturregler ist 20 Segmente programmierbar mit einer Genauigkeit von +/-2 C · Temperaturgleichmäßigkeit: < 10 °C innerhalb eines Bereichs mit einem Durchmesser von 6 Zoll; &lt; 20°C innerhalb eines Durchmessers von 12 Zoll · Heizrate: 15C max. · Der Abstand zwischen Probentisch und Lampe ist von 20 mm bis 40 mm einstellbar.
Entlüftungsanschluss	· Die Entlüftungsöffnung mit einem Durchmesser von 3 Zoll befindet sich auf der Rückseite der Maschine · Ein flexibles 10-Fuß-Rohr und eine Entlüftungsklemme zum Anschließen des Reinigerauslasses an ein Laborentlüftungssystem sind im Lieferumfang enthalten.
Abmessungen	· 510 mm x 350 mm x 400 mm (B x H x T)
Reingewicht	· 62 Pfund
Versandgewicht & amp; Maße	· 160 Pfund · 47" x 39" x 32"
Garantie	2 Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung. Die zerbrechliche UV-Lampe ist nicht in der Garantie enthalten.
Anwendung	· Siliziumwafer, Galliumarsenidwafer, Quarz- und ITO-Glas reinigen · Reinigen Sie alle Arten von Oxid-Einkristallsubstraten wie Saphir, STO und LAO. · Reinigen Sie die Gold- und Pt-Oberfläche · Eine oxidierende Oberfläche eines leichten metallischen Materials · Polymere aktivieren und Polymere vernetzen · UV-Streifen Fotoresist / Fotoresist · LED-Anzeigen der UV-sauberen Produktionslinie