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Slliding Furnace

Doppelrohr (100/80 mm) - DVD-Schiebeofen und 4-Kanal-Gas- und Vakuumsystem

  • Model Number:

    TMAX-1200X-4-C4-SL-U
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
Produktdetails

Doppelrohr (100/80 mm) - DVD-Schiebeofen und 4-Kanal-Gas & amp; Vakuumsystem


tmax-1200x-4-c4-sl-ul ist ein spezielles dual tube cvd system zum beschichten von dünnfilmen die Metallfolie, insbesondere zur Herstellung flexibler Elektroden, auf Metallfolie zur Energieforschung der neuen Generation. schnelles Erhitzen und Kühlung kann durch Verschieben des Ofens erreicht werden. Bitte beziehen Sie sich auf die Operationen Anweisungen Abschnitt, um den Betrieb des Ofens zu sehen:

  • eine doppelte Quarzröhre: 100 mm Durchmesser Außenrohr und um 80 aufgehängt      mm dia. Innenrohr. Metallfolie (Graphenwachstum      Substrat) wird um die Rohrinnenseite gewickelt, z      cvd reaktion.
  • vakuumversiegelte Flansche      für das Doppelrohr, bei dem reaktive Gase zwischen zwei Rohren strömen können (      10 mm Abstand) und Inertgas strömen zur Kühlung in das Rohr.
  • 4 Gaskanäle      gesteuert von 4 separaten digitalen mfcs
  • Vakuumpumpe ist      im kf25 adapter und rohr für plug and play enthalten
  • Gleitschiene ist      installiert auf der Unterseite des einzelnen Zonenofens, der schnell erlaubt      Heizen oder Kühlen durch Schieben des Ofens von einer Seite zur anderen.
  • eine Rutsche stoppt      Klemme ist enthalten, um die Position des Ofens zu halten.

Sowohl Heizzone als auch Vakuumsystem sind wählbar: Einzel- oder Doppelheizung Zone; schnelllaufende ölfreie trockensaugpumpe - vbs-m1 oder zweistufig mechanische pumpe - vbs-acp15.

Spezifikationen:

Ofenstruktur

einzelne Heizzone

  • hochreine Al2O3-Isolierung        Kammer garantiert eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit.
  • Lüfter sind bei installiert        der Boden des Ofens, um eine effiziente Belüftung zu gewährleisten.
  • Gleitflanschmontage erfolgt        aus rostfreiem Stahl.
  • Doppelquarzrohr: 100mm        dia. Außenrohr und mit Ø 80 mm abgehängt. Innere        Tube. Metallfolie (Graphen        Wachstumssubstrat) wird um die Oberfläche des Röhrchens gewickelt        cvd reaktion
  • Heizzonenlänge: 440mm
    Heizzonenlänge bei konstanter Temperatur: 120 (± 1 ° C) bei 400 ~ 1100 ° C

doppelte Heizzone

  • hochreine Al2O3-Isolierung        Kammer sorgt für eine hervorragende Temperaturgleichmäßigkeit.
  • Kühlgebläse sind an der        Boden des Ofens, um eine effiziente Belüftung zu gewährleisten.
  • max. Temperatur: 1200 ° C und        Dauertemperatur: 1100 ° C.
  • zwei Heizzonen geregelt        separat:

Dual-Direction-Gleitschienen zu gewährleisten   Ofen bewegt sich reibungslos.

  • 200mm        Länge für jede Heizzone: 400 mm Gesamtheizlänge
  • 250mm        konstante Temperaturzone, wenn die beiden Zonen auf die gleiche Temperatur heizen
  • 500oc max        Temperaturdifferenz, wenn ein Wärmeblock zwischen zwei Zonen platziert wird

Leistung

einzelne Heizzone
Leistung: 208-240 VAC, 50/60 Hz, einphasig, 2,5 kW (20 A Leistungsschalter)   erforderlich)

doppelte Heizzone
Leistung:   208-240 VAC, 50/60 Hz, einphasig, 4 kW (50 A Leistungsschalter)   erforderlich)
10   Füße Stromkabel mit Nr Stecker (frage a   zugelassener Elektriker für den Stecker)

Heiztemperatur

  • max. Temperatur: 1100ºC
  • Dauertemperatur: 1000 ° C

Heizung & amp; Kühlung   Bewertung

max. Heizung und Kühlung   Die Raten hängen von der Arbeitstemperatur ab. bitte klicken sie auf die tabellen unten um   siehe die max. Heizung & amp; Abkühlrate variiert bei unterschiedlicher Temperatur   Angebot.
(Sie müssen die Temperatur und die Heizkühlrate bei Ihrer Arbeit kalibrieren   Zustand vor Gebrauch)
Heizungsgrundstück Kühlfläche

Quarzglasröhren

  • hochreines Quarzrohr:

zwei Paar vakuumversiegelte Flansche mit   Wasserkühlmäntel und Nadelventile aus Edelstahl

  • Außenrohr eq-qztube-101d-1400 : od: 4 "x id:        3,8 "x 55" Länge (od 100 x id 96 x 1400 mm)
  • Innerhalb        Röhren-Äq-qztube-80d-1800: od: 3,15: x id x 2,95 "x 70,8"        länge (od 80 x id 75 x 1800 mm


Vakuumflansche

Verwenden von Dual Tube zum Induzieren des Wachstums von DVDs Metallfolie (umwickelt   innere Rohroberfläche):

  • 1-1. unten gezeigt, ein Paar von        ss304 flansche dichten sowohl das außenrohr als auch den zwischenraum ab        die äußere Röhre und innerhalb der Röhre (dieser Raum wird als        Reaktionskammer).
    • linker Seitenflansch: Widerhakenbefestigung         mit Nadelventil als Gaseinlass, ein digitales Vakuummeter mit Messbereich 10 ^ -4 bis         1000 Torr ,         wasserkühlung einlass / auslass enthalten
    • rechter Seitenflansch: rechter Winkel         ventil mit kf25 flanschanschluss, vakuumablassnadelventil, wasser         kühlung einlass / auslass enthalten

  • 1-2.        Lassen Sie beide Enden des Innenrohrs für die Gaskühlung offen.

ultimatives Vakuum   Druck: 10 ^ -2 Torr (durch mechanische Pumpe)
10 ^ -5 Torr (durch Turbomolekularpumpe)


Temperaturregler

  • pid automatische steuerung mit        30 programmierbare Segmente zur präzisen Steuerung der Heizrate,        Abkühlrate und Verweilzeit.
  • eingebauter Überhitzungsalarm        und der Schutz ermöglicht den Betrieb ohne Begleiter.
  • Über        Temperaturschutz und Alarm ermöglicht        Betrieb ohne Begleitperson (en).
  • +/- 1 ° C Temperaturgenauigkeit.
  • RS485-Kommunikationsanschluss.
    • Fortgeschrittene Temperatur         Steuerung (Optional)
    • mts02-y Temperatur         Steuersoftware-Kit (für Controller der yd518p-Serie) + 15-Zoll-Laptop         Paket ist in der Optionsleiste verfügbar. Sie können die aktualisieren         Temperaturregler zum eurotherm         3504 Temperaturregler das ist voll kompatibel mit         labview. dieses paket enthält einen eurotherm 3504 programmierer, a         Kommunikationskabel (RS485 - USB) und eine Software-CD. Klicken Sie auf das Bild         Unten finden Sie die vollständigen technischen Daten des eurotherm 3504-Temperaturreglers.


Massendurchflussmesser & amp; Gasmischstation

  • 4 Präzisionsmassenstrom        controller (mfc) mit digitalanzeige und einstellknopf sind        installiert am linken unteren Gehäuse, um die Gasdurchflussrate zu steuern:
  • 4 Gaskanäle (Kontakt mti        Umsatz, wenn mehr benötigt wird)
    • mfc         1: Regelbereich von 0 bis 100 sccm
    • mfc         2: Regelbereich von 0 bis 200 sccm
    • mfc         3: Regelbereich von 0 bis 200 sccm
    • mfc         4: Regelbereich von 0 bis 500 sccm
  • Durchflussgenauigkeit: ± 1%        fs
  • Gaseinlass und -auslass: 1/4 "        Swagelok Rohrverbinder
  • Ein 80ml Gasmischbehälter ist        im unteren Gehäuse installiert
  • Jeder Gaskanal hat a        Nadelventil aus rostfreiem Stahl zum einfachen Ein- und Ausschalten
  • Die Durchflussmenge ist einstellbar        aus dem mfc panel

Vakuumpumpstation und   ventile

optional 1:

  • pfeiffer's        Ölfreie Trockenvakuumpumpe mit hoher Geschwindigkeit (226 l / min), 10e-3 Torr-Grenze ist        in einem Hochleistungsmobilwagen installiert. Bitte klicken Sie auf das Bild        unten für weitere Details.
  • kfd25        Adapter und rostfrei        Stahlrohr sind        Präzise zwischen Pumpe und Rohrflansch verbunden Ball        Ventil .
  • 10e-2 Torr Vakuum kann sein        im Verarbeitungsrohr erreicht
  • Digital        Vakuummessgerät (gemacht        in den usa) ist am linken seitenflansch verbaut.
  • (optional) für höheres Vakuum        Niveau bis 10 ^ -5 Torr, bestellen Sie bitte unter Handy Turbo        Pumpe .

optional 2:

  • die schwere zweistufige drehschaufel        Vakuumpumpe mit Abluftfilter & amp; kf-d25 einlass ist installiert        in einem schweren mobilen Wagen. Bitte klicken Sie auf das Bild unten für mehr        Einzelheiten.
  • 6,7 x 10 -4 mbar        Vakuum kann innerhalb des Verarbeitungsrohrs erreicht werden
  • Digital        Vakuummessgerät (gemacht        in den usa) ist am linken seitenflansch verbaut. Bitte klicken Sie auf das        zweites Bild unten für weitere Details
  • für höheres Vakuumniveau bis        10 ^ -5 Torr, bitte bestellen Sie unter Handy Turbopumpe gegen Aufpreis:

Wasserkühlung

Die Wasserkühlung am Flansch dient hauptsächlich zum Abkühlen des O-Rings   im Flansch, um die bestmögliche Abdichtung der Kammer bei hohen Temperaturen zu gewährleisten:

  • Wasserkühlung Flansche erfordern        & gt; = 10 l / m Wasserfluss.
  • Sie können Leitungswasser als das verwenden        Es wird jedoch dringend empfohlen, ein Umlaufwasser zu verwenden        kühler aus umweltgründen. Bitte klicken Sie mit dem Daumen nach unten um        Bestellen Sie den Wasserkühler gegen Aufpreis.

optionale Teile (Gebäude   ein einziges Rohr Ofen)

Sie können einen 80mm aufbauen   dia. Einrohrreaktionskammer durch Bestellung von zusätzlichen Dichtflanschen und   Installieren Sie sie auf Innenrohr:

  • linker Seitenflansch: Widerhakenbefestigung        mit Nadelventil als Gaseinlass und 1/4 '' Durchführungsfitting für        Kunden, einen Messsensor einzufügen
  • rechter seitenflansch: kf25-verschraubung        mit mechanischem Manometer und Unterdruckablassventil

Abmessungen

  • Ofen: 550 x        380 x 520 mm
  • untere Handytasche x 2: 600 x        600 x 600 mm (eine für Gasmischstation und die andere für Vakuumpumpe)

Versand

  • Versandgewicht: ~ 800 lb
  • versand per fracht mit drei        Paletten
  • Es wird eine Verpackungsgebühr erhoben

Garantie

ein Jahr begrenzt   Herstellergarantie (Verschleißteile wie Verarbeitungsrohre, O-Ringe,   und Heizelemente fallen bitte nicht unter die Garantie   Ersatz bei verwandten Produkten bestellen (siehe unten).

Laptop, Software & amp;   WiFi-Steuerung (optional)

  • brandneuer Laptop mit Microsoft        Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlose Testversion) für sofort        verwenden.
  • labviewbasierte Temperatur        Kontrollsystem Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten        Temperaturprofil, Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten aufzeichnen und plotten        für mti öfen.
  • eine drahtlose Fernbedienung        Bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • Die oben genannten Funktionen sind verfügbar        auf Anfrage gegen Aufpreis (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen        Information.

· Hinweis:
die software ist nur mit der yudian temperatur von mti kompatibel   Regler

Beachtung

  • ce        zertifiziert
  • alle        elektrische komponenten (& gt; 24 v) sind ul / met / csa zertifiziert
  • das        ofen ist bereit, tuv (ul61010) oder csa zertifizierung bei zu bestehen        Extrakosten.

Anwendungshinweise

  • Rohröfen mit Quarzrohren ausgelegt sind        zur Verwendung unter Vakuum und niedrigem Druck & lt; 0,2 bar        0,02 mpa
  • Beachtung : ein        zweistufiger Druckregler muss an der Gasflasche installiert werden        Begrenzen Sie den Druck für einen sicheren Betrieb auf unter 3 psi.
  • der Fluss        Die Rate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200        ml / min) zur Reduzierung von Thermoschocks auf das Röhrchen
  • Vakuumgrenzwertdefinition für alle Quarzrohre        Öfen: * Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C sicher verwendet werden
  • Hier klicken, um        lernen wie stellt man das ein        Quarz- / Keramikrohr und Vakuumflansch für MTI-Rohrofen .
  • eine Folie        Zum Festhalten der Ofenposition ist eine Halteklammer enthalten.

  • nach        cvd muss das graphen vom metallkatalysator auf einen anderen übertragen werden        Substrat für die meisten Anwendungen. durch die Nutzung das Graphen        Transferband kann der Rückstand gering sein.

Warnung

  • schnelle Probe        Die Kühlung kann durch Wegschieben der Heizkammer erreicht werden. Bitte tragen        Schutzausrüstung wie hitzebeständiger Anzug & amp; Handschuhe, wenn Sie vorhaben        um das zu tun.
  • Berühren Sie nicht die        Rohroberfläche, wenn es heiß ist!

CVD Sliding Furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


 Vacuum Tube Furnace


1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.