Eingangsspannung

• 220 VAC 50/60Hz
• 110-V-Strom ist verfügbar, indem a verwendet wird 1000-W-Transformator (15-A-Sicherung ). Der Transformator ist separat erhältlich

Ausgangsleistung

• 1600 VDC
• 250 W
• 150mA max.
• Eingebauter Überstromschutz (>150 mA)

Sputternder Kopf

• 2" flexibler Magnetron-Sputterkopf mit Wasserkühlmantel ist im Lieferumfang enthalten
• Ein manuell betätigter Verschluss für den Zielschutz
• Zum Halten des Sputterkopfs im Ruhezustand ist ein Sputterkopfhalter erhältlich
• Der Abstand zwischen Sputterkopf und Probentisch ist von 60 - 100 mm einstellbar
• Einer Kaltwasser-Umlaufkühler mit 16 l/min Durchfluss ist zum Kühlen des Sputterkopfes enthalten

Vibrationsstufe

• Die Vibrationsstufe ist im Boden der Vakuumkammer eingebaut
• Die Vibrationsgeschwindigkeit ist einstellbar von 400 - 2000 RPM (6 - 33 Hz)
• Ein 2-Zoll-Pulverbehälter wird auf den Vibrationstisch gestellt. Er dreht sich während der Vibration
• Empfohlene Pulvermenge: < 500mg max.
• Vorgeschlagene Partikelgröße: 1 ~ 1000 Mikron

Vakuumkammer

• Quarzglasrohr, 165 mm AD. X 150 mm Innendurchmesser x 250 mm Höhe

Schalttafel

• 6-Zoll-Farb-Touchscreen-Bedienfeld mit SPS-Integration für eine einfache Bedienung
• Ein Panel zur Überwachung und Steuerung aller Parameter: Vakuum, Strom

Ultimativer Vakuumdruck

• Eingebauter KF25-Vakuumanschluss
• Das System erfordert einen Ar-Gastank mit Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten)
• < 1,0E-2 Torr durch Flügelzellen-Vakuumpumpe (nicht enthalten) für Au-, Ag-, Pt-, Cu-, Mo-Targets (luftunempfindlich)
• < 1.0E-5 Torr durch Turbomolekularpumpe (nicht enthalten) für Al-, Mg-, Li-, Lr-, Ti-, Zn-Targets (luftempfindlich)
• Das niedrigste Vakuum kann < 4,0E-6 Torr durch Pumpen über Nacht und Backen

Gasatmosphäre

• Ein Nadelventil installiert, um den Einlass von Ar-Gas zu ermöglichen, um eine bessere Plasmabeschichtung zu erreichen
• Das System erfordert einen Ar-Gastank mit Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten).

Ziel

• Ein 2-Zoll-Kupferziel ist zum Testen enthalten, Zielgröße: 2 Zoll Durchmesser. × 2,5 mm
• Es kann auch beschichten Ag, Al, Cr, Ni, Pt, Ti, Sn, Li, Mg , etc. fast jede Art von metallischem Material
• Warnung: Aluminium, Chrom oder Nickel kann mit dieser Maschine beschichtet werden, aber bitte sehen Sie sich die empfohlene Beschichtungsmethode im untenstehenden Ziellink an
• Bitte verwenden Sie einen HF-Plasma-Magnetron-Sputter-Beschichter zum Beschichten von nichtleitenden Materialien und Kohlenstoff

Gesamtabmessungen

Reingewicht

• 20 kg

Versandgewicht & amp; Abmessungen

• 160 Pfund
• 45" x 45" x 40"

Beachtung

• CE-Zulassung
• Die NRTL (UL 6100)-Zertifizierung ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich, bitte kontaktieren Sie unseren Vertriebsmitarbeiter für ein Angebot

Garantie

• Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support

Anwendungshinweise

• Warnung: Der Sputterkopf wird an HOHE Spannung angeschlossen. Der Bediener muss während des Betriebs Handschuhe tragen
• Stellen Sie sicher, dass das Target, der Sputterkopf, das Substrat und die Heizstufe vor dem Beschichten sauber sind. Verwenden Sie Sandpapier und Alkohol, um das Al- oder Nickel-Target jedes Mal zu reinigen und zu erneuern
• Hinweis: Das Pulver muss vor dem Auftragen gut trocknen und dispergieren
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