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Programmierbares Massendurchflussmesser-Steuerungssystem MFS-System
Model Number:
TMAX-MFS:
XiamenZahlung:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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Molekularpumpe
Programmierbares Massendurchflussmesser-Steuerungssystem MFS-System
1. Das Gas strömt aus der Flasche, durch das Druckminderventil, durch das Teflonrohr zum Einlass des Gasversorgungssystems, dann durch den Protonendurchflussmesser, um den Gasfluss zu steuern, dann durch den Luftmischtank und dann hinein der Lufteinlass des Ofens. Das Gas strömt aus dem Luftauslassrohr durch das Dreiwegeventil, ein Ende ist mit der Vakuumpumpe und das andere Ende mit dem Luftauslass verbunden.
2. Der Luftmischtank ist mit einem Manometer verbunden, und die Anzeigetafel des Manometers und des Protonendurchflussmessers sind auf derselben Tafel installiert.
3. Jede Gasleitung hat ein Hochdruck-Absperrventil, um die Sicherheit zu gewährleisten.
4. Der Gasweg nimmt ein hochpräzises Gasrotameter an, und der interne Gasweg nimmt ein Teflonrohr an, das eine gute Korrosionsbeständigkeit aufweist.
5. Alle Gelenke sind mit einer Zwinge verbunden, mit guter Luftdichtheit und Hochdruckfestigkeit.
6. Ausrüstungszusammensetzung: Mehrkanal-Lufteinlassleitung, Protonendurchflussmesser, Luftmischbehälter und Luftauslassleitung
Merkmale
1. Mehrere Lufteinlasskanäle werden vom Kunden angepasst, Standardschnittstelle, bequemer Anschluss
2. Der Flüssigkristall-Touchscreen steuert und gibt den Gasfluss jedes Kanals ein und zeigt die Gasflusskurve jedes Kanals in Echtzeit an
3. Jeder Gasweg ist mit einem Hochdruck-Absperrventil ausgestattet, mit dem der Gasweg bequem abgesperrt werden kann
Spezifikationen
Gasweg /Kanal |
2/3/4/5/6/7/8/9/10 wählbar |
Gasart |
Wählen Sie nach Kundenwunsch |
Durchflussmesser-Bereich |
5 – 500 SCCM; 1 – 10 SLM wählbar |
Betriebsspannung |
220 V/50 Hz |
Arbeitsdruckdifferenz |
0,1–0,5 MPa |
Maximaler Druck |
3 MPa |
Genauigkeit |
±1,5 % v.E |
Linear |
±0,5 ~ 1,5 % F.S |
Entsprechende Zeit des Protonendurchflussmessers |
<1S |
Messbereich |
0,1–0,15 MPa |
Mischtank |
SS 30 4 |
Lufteinlass und -auslass |
φ 6mm Edelstahl-Ferrulen-Schnittstelle |
Rohrmaterial |
Für das Innenrohr wird ein Edelstahlrohr mit 6 mm Durchmesser verwendet. Als externes Rohr wird ein 6 mm Teflonrohr verwendet |
Kontrollsystem |
SPS-Steuerungssystem, LCD-Touchscreen-Eingang, unabhängige Steuerung jedes Gaswegs |