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RTP Furnace

ul standard kompakter rtp ofen mit 4 "id quarzrohr und digitalem vakuummeter bis zu 1100ºc

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-4
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 day
Produktdetails

Standard-Kompakt-Hochtemperaturofen mit 4-Zoll-Quarzrohr und digitalem Vakuummeter bis 1100 ° C


tmax-1200x-rtp-4 ist ein kompakter Schneller thermischer Prozessrohrofen mit einem 4 "-Id.-Prozessquarz Rohr- und Vakuumflansche. Es ist für das Tempern von Halbleiterscheiben ausgelegt oder Solarzellen mit Durchmessern bis zu 3 ". tmax-1200x-4-rtp wird durch geheizt 8 Einheiten 1 kW Halogenlicht mit einer max. die Aufheizrate von 50ºC / Sekunde. Ein 30-Segment-Präzisions-Temperaturregler mit einer Genauigkeit von +/- 1 ° C ist eingebaut der Ofen zum Heizen, Verweilen und Kühlen in verschiedenen Stufen. rs485 Port- und Steuerungssoftware zur Überwachung der Temperatur sind enthalten profil über pc bei gleichzeitig laufendem ofen möglich. dieser Ofen auch kann in eine rte, css oder hpcvd ofen ( sehen Anwendungshinweis)

Spezifikationen

Ofenstruktur

  • Doppelschicht Stahl        Gehäuse mit Luftkühlung hält Ofenoberflächentemperatur niedriger als        60 ° c.
  • hochreine faserige        Aluminiumoxid-Isolierung für maximale Energieeinsparung.
  • geteilte Abdeckung mit Verriegelungsschutz , schalten Sie den Strom aus, wenn        Deckel offen während des Ofenheizvorgangs.

Leistungsaufnahme

208-240 AC, 50/60 Hz einphasig, 9 kW max. (60a   Leistungsschalter erforderlich)


Heizelemente

  • 8 Stück 1kw Halogen        Lichtschlauch, (Ø = 10mm, l = 300mm, beheizte Länge        = 200 mm)
  • Standardarbeitszeit:        2000 Std. (abhängig von der Heizrate)
  • das Halogen        Leuchtröhre ist Verbrauchsmaterial. Bitte klicken Sie auf das Bild, um es zu bestellen        Ersatz ein

Heizzone

12 "Länge mit 4" konstanter Temperaturzone   innerhalb einer Gleichmäßigkeit von +/- 5 ° C

Arbeitstemperatur

  • 1100 ºC max. für & lt; 10        Protokoll
  • 1000 ºC max. für & lt; 20        Minuten (Hinweis: Wenn die Laufzeit länger ist, wird der Ofenkasten & gt;        100oc, muss Lüftergehäuse von außen verwenden)
  • 800 ºC max. zum        & lt; 120 Minuten
  • 600 ºC max. zum        kontinuierlich

max. Erwärmungsrate

50 ° C / Sek

Kühlrate

  • max. Kühlung: 60ºC / min        (unter Vakuum: 200 mTorr), 117ºC / min (unter atmosphärischem Druck)        Druck)
  • niedrigste Abkühlung:        10 ° C / Minute

Thermoelement

Typ k berührt der Kopf des Thermoelements den   Probenhalter aus Aluminiumnitrid von unten

Temperaturregler

  • Temperaturregler        ist enthalten.
  • Proportional-Integral-Ableitung        Steuerung (PID-Regelung) und Auto-Tuning-Funktion
  • 30 Segmente programmiert        mit Rampen-, Kühl- und Verweilschritten
  • eingebaut        Übertemperaturalarm und Thermoelementausfallalarm
  • +/- 1 ºC Temperatur        Regelgenauigkeit
  • default db9 pc        Kommunikationsanschluss
  • erfüllt zertifiziert

Temperaturregler (optional)

  • mts02-y Temperatur        Steuersoftware-Kit (für Controller der yd518p-Serie) + 15-Zoll-Laptop        Paket ist in der Optionsleiste verfügbar.
  • Sie können die aktualisieren        Temperaturregler zum eurotherm 3504        Temperaturregler welches ist        voll kompatibel mit labview. Dieses Paket enthält a        eurotherm 3504 programmierer, ein kommunikationskabel (rs485 - usb) und a        Software-CD. Klicken Sie auf das Bild unten, um die vollständige Spezifikation von eurotherm 3504 anzuzeigen        Temperaturregler.

Quarzröhre & amp; Beispiel halter

  • Quartrohrgröße: 4.33 "o.d x        4,05 "i.d x 16,2" Länge . einer 3 "durchmesser aln        Beispiel halter zum Glühen von Proben bis 3 "Durchmesser ist        inbegriffen. Aln hat eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit, die bietet        die beste Temperaturgleichmäßigkeit im Probenbereich.
  • Optional: 3 '' o.d dicker Graphit        Substrat kann alternativ zu einer Platte verwendet werden.        (zum Bestellen bitte Bild-3 anklicken)
  • Optional: Graphittiegel: 87        mm od x 71 mm id x 12 mm Höhe mit Deckel ist konzipiert für        3 "Probenhalter, kann auch sein modifiziert in eine rte,        css oder hpcvd ofen mit einem Graphittiegel beschichtet mit        sic.
  • Der Probenhalter ist        vom flansch abnehmbar, um den rtp-ofen für andere zwecke zu verwenden.

Vakuumflansch

  • kf-d25 Hochvakuum        Flansch ist aus Edelstahl mit doppelter Temperatur. Silikon-O-Ringe,        Nadelventile und Wasserkühlungsmantel.
  • Benötigt nur Wasser        Abkühlen in langen Laufzeiten bei Temperaturen & gt; 600 Ö c.
  • Wasserzirkulationsrate:        0,5 m 3 / Std.
  • der ausziehbare Flansch        Bietet eine einfachere Möglichkeit zum Laden, Entladen der Proben und anderer        spezifischer Prozess benötigt.
  • einsteckbar        Thermoelement für genaue Messung.

Vakuumpumpe (optional)

  • eq-fyp Vakuumpumpe ist        Empfohlen für diesen Ofen. der ultimative Vakuumdruck in diesem        System kann 10 ^ -3 Torr sein. Vakuumbälge und Klemmen sind im Lieferumfang enthalten        Paket. Klicken Sie hier, um die technischen Daten der Vakuumpumpe eq-fyp anzuzeigen.

Wasserkühlung (optional)

  • Kühlwasser ist        erforderlich.
  • bitte stelle sicher        Die Durchflussmenge des Kühlwassers beträgt ≥ 10l / min, Wassertemp. & lt;        25ºc; Druck & gt; 25 psi.
  • wir empfehlen die        eq-kj5000 series Umlaufwasserkühler Als ein        Kühlsystem (bei verwandten Produkten bitte separat bestellen        unten), um Wasser zu sparen.
  • Warnung: Diese rtp        Die maximale Verweilzeit des Ofens muss bei weniger als 600 Sekunden liegen        1000 ° C ~ 1100 ° C mit Leitungswasser, da sonst der O-Ring schmelzen kann.

Durchflussmesser

Ein Durchflussmesser ist an der Frontplatte für installiert   Einstellen des Gasflusses von 16 - 160 ml / min

Vakuummessgerät

digitales Vakuummeter mit einem Messbereich   von 10 -4 Auf dem Ofen sind bis zu 1000 Torr installiert.

Vakuumdruck & amp; Gasanschluss

  • Druck erreichen kann        50 mtorr mit mechanischer vakuumpumpe mit kf25 adapter
  • Druck kann 10 erreichen -4 Torr        durch molekularpumpe mit kf25 adapter

Maße

  • Flansch geschlossen:        760 mm (l) x 330 mm (b) x 530 mm (h) / Flansch geöffnet: 1200 mm (l) x 330 mm (b)        x 530 mm (h)

Nettogewicht

70 kg

Garantie

Ein Jahr eingeschränkte Herstellergarantie mit Lebensdauer   Unterstützung (Verschleißteile wie Verarbeitungsrohre, O-Ringe und Halogen   Lampen fallen nicht unter die Garantie, bitte bestellen   Ersatz bei verwandten Produkten weiter unten).

Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional)

  • nagelneuer Laptop mit        Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlose Testversion) für        sofortige Verwendung.
  • labview basiert        Temperiersystem) Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten        Temperaturprofil, Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten aufzeichnen und plotten        für mti öfen.
  • eine drahtlose Fernbedienung        Die Steuerung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • oben genannten Funktionen sind        auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). wenden Sie sich bitte        uns für weitere Informationen.
  • Hinweis:
    Die Software ist nur mit dem YUDIAN von MTI kompatibel        Temperaturregler
Beachtung Bitte wählen Sie das Zertifikat in der Optionsleiste aus:
ce-zertifikat & amp; ul / csa ready: CE-Zulassung, bereit zum Bestehen des ul / csa-Zertifikats
ul certircate - ul apprval (ul 61010), gegen Aufpreis
Optional
  • sie können den rtp-ofen mit einer hochvakuumstation oder einer gasanlage als vakuumofen oder cvd-anlage kombinieren. Klicken Sie auf die Bilder unten, um Details zu sehen
  • Um eine schnelle Abkühlgeschwindigkeit (& lt; 10ºC / Sekunde) zu erreichen, können Sie einen Hochofen mit Gleitschiene wählen. Bitte klicken Sie auf das Bild unten, um Details zu sehen.

  • Sie können ein Druckregelmodul bestellen.

Anwendungshinweise

  • Rohröfen mit        Quarzrohre sind für die Verwendung unter Vakuum und Niederdruck ausgelegt        & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa. Vakuumdrücke dürfen nur sein        sicher eingesetzt bis 1000 ° c sollte die durchflussmenge für gase begrenzt werden        auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min), um Wärmeschocks auf die Röhre zu reduzieren
  • Aufmerksamkeit: eine zweistufige        Der Druckregler muss an der Gasflasche installiert werden, um die        Druck unter 3 psi für einen sicheren Betrieb. Dieser Ofen kann auch        Sein modifiziert in eine rte, css oder hpcvd ofen mit einem Graphit        tiegel mit sic überzogen (klicken sie auf das bild links für detailinformationen zum aufstellen eines        rte Verarbeitung von DIY)
  • nach cvd das graphen        muss vom Metallkatalysator auf ein anderes Substrat übertragen werden, z        die meisten Anwendungen. durch die Nutzung die Graphenübertragung        Band kann der Rückstand gering sein.

RTP Furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


 Vacuum Tube Furnace


1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.