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Thermal Evaporation Coater

Ultraschall-Hochvakuum-Beschichter mit thermischer Verdampfung und vier Heizquellen (10-6 Torr)

  • Model Number:

    GSL-1800X-ZF4
  • :

    Xiamen
  • MOQ:

    1
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
Produktdetails

Ultraschall-Hochvakuum-Beschichter mit thermischer Verdampfung und vier Heizquellen (10-6 Torr)



SPEZIFIKATIONEN

Eingang & Ausgangsleistung

· Eingang: 208 - 240 VAC, 20 A, 50/60 Hz, einphasig

· Erforderliche Gesamtleistung: 8KW (einschließlich Pumpe)

· andere 3-Phasen-Spannung ist auf Anfrage erhältlich

· Ausgang: 5VAC max. und 300A max.

Vakuumkammer

Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater

· Edelstahlkammer: 280 mm ID. x 375 mm Höhe, (~23 Liter) Sandstrahlen elektrolytisch polierte Oberfläche

· 100 mm Sichtfenster vor der Kammer

· Tür mit Scharnier zum einfachen Laden der Proben

· Oben auf jedem Verdampfungsschiffchen W befinden sich manuell betätigte Klappen, mit denen 4 Arten von Materialien nacheinander verdampft werden können

· 4 KF40-Anschlüsse in der Kammer zum Anschluss an das erforderliche Gerät eingebaut

Vakuumpumpe
Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater

· Hochgeschwindigkeits-Turbo-Vakuumpumpe ist im Lieferumfang enthalten und mit der Vakuumkammer verbunden. (Bitte Bild links oben anklicken)

Ö Vakuumgeschwindigkeit: 600 l/s

Ö Vakuumstufe: 5,0x10 -6 Torr (nach 40 Minuten Pumpen)

Ö Grenzvakuum: 5,0x10 -7 Torr (nach Backen bei 100 -150°C)

Ö Leckrate: 5,0 x 10 -7 Pa.

Ö Vakuumanschluss: 150 mm Durchmesser


Verdampfungsquelle
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Beispiel halter

Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater

· Vier Wolfram-Heizschiffchen sind enthalten, die von wasserkalten Elektroden unterstützt werden

· Wolfram-Heizboot hat Abmessungen von 70 mm L x 12 mm B x 3 mm H Ein Ersatz-W-Boot ist gegen Aufpreis erhältlich

· Jede Oberseite des Bootes hat einen manuellen Betriebsverschluss

· Eingebauter manueller Verschluss ermöglicht die Verwendung der Verdampfungsquelle ohne Kontamination

· Der rotierende Probenhalter mit einem Durchmesser von 100 mm befindet sich oben auf der Kammer mit einem Durchmesser von 260 mm, die auf max. 600 °C erhitzt werden kann. über digitalen Temperaturregler mit +/-1 °C Genauigkeit

· Der Abstand zwischen Verdampfungsquelle und Probenhalter ist 150-300 mm einstellbar

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Dickenkontrolle Optional

· Ein hochauflösender Filmdickenmonitor und -controller ist optional Klicken Sie auf das Bild unten, um die Detailspezifikationen anzuzeigen.)

· Die Genauigkeit der Dickenregelung beträgt 1,0 A

Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater

Steuergerät

· Vakuum-, Dicken- und Leistungsregelung sind in einem Steuerkasten integriert

· Die Steuereinheit ist zum einfachen Bewegen von der Vakuumkammer getrennt

· Sie können die Steuereinheit oben auf der Vakuumstation platzieren

Gesamtabmessungen

L600 mm × B860 mm × H1500 mm

Reingewicht

600 Kilogramm

Einrichtungsvoraussetzung für die Installation

· Raum: 250 SF mit Höhe > 6 Fuß

· Leistung: 208 - 240 V AC, einphasig mit max. 10 kW (50 A Unterbrecher)

· Wasser: > 15 l/min fließendes Wasser zur Elektrodenkühlung erforderlich. Sie können einen Umlaufwasserkühler bestellen, um Wasser zu sparen, indem Sie gegen Aufpreis auf das Bild unten klicken.

Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater

Anwendungshinweise

· Testen Sie die Flexibilität der beschichteten Dünnschicht/Elektrode mit EQ-MBT-12-LD Dornbiegeprüfgerät .

·Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater


Garantie & Zertifikat

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung

CE-zertifiziert

Ultra-High Vacuum Thermal Evaporation Coater