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Slliding Furnace

1200 ° C kompakter magnetbetriebener Gleitrohrofen für DVD & RTP

  • Model Number:

    TMAX--1200X-S-DVD
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
Produktdetails

1200 ° C kompakter magnetbetriebener Gleitrohrofen für DVD & amp; rtp


tmax-1200x-s-dvd ist ein kompakter Megnet-Sliding 2 " Rohrofen mit max. Arbeitstemperatur von 1200 ° C, die ausgelegt ist für direkte verdampfung abscheidung (dvd) oder schnelle thermische verarbeitung (rtp) unter verschiedenen atmosphären für 2d material wachstum.


Spezifikationen:

Ofenfunktion

  • ein Aluminiumoxid mit hoher Wärmeleitfähigkeit        Der flache Probenhalter (2 "lx1" w) ist am Typ k befestigt        Probe, und das Thermoelement mit dem Probenhalter kann bewegt werden         Innenquarzrohr von einem Magneten manuell angetrieben, um wünschenswert zu finden        Temperaturposition innerhalb des Röhrchens zur Verdampfung oder Ablagerung.
  • Eine einzige zertifizierte Präzision        Temperaturwächter ist        verbunden mit Thermoelement und Probenhalter über eine Durchführung am        Vakuumflansch.
  • Ein Magnet ist im Inneren eingebettet        Thermoblock, und ein weiterer Magnet wird außerhalb des Rohrs platziert. Beweg das        Außenmagnet kann den Probenhalter mit Thermoelement nach innen bewegen        Röhre rein oder raus
  • Programmierbare Temperatur mit 30 Segmenten        Der Regler ist in den Ofen eingebaut, um max. Arbeiten        Temperatur bis 1200 ° C in der Mitte des Ofens
  • ein kleiner Quarztiegel ist enthalten, die verwendet werden können        Verdunstungsmaterial enthalten oder bitte zur Ablagerung oben auf den Wafer legen        basierend auf Ihrer Anwendung.

Ofenleistung

  • 110 Vac oder 208-240 Vac, 50/60 Hz (bitte bestätigen        spannung wenn auftrag vergeben)
  • 1,5 kw

max. Temperatur

1200 ° c (& lt; 1   Stunde)

kontinuierliche Temperatur

1100 ° c (   kontinuierlich)

max. Erwärmungsrate

& lt; 20 ° c / min

Heizzone

  • Heizzonenlänge: 8 "        (200 mm), einzelne Zone. Das folgende Bild zeigt die Temperatur. Verteilung        Über die Heizzone, bitte zum Vergrößern anklicken.
  • konstante Temperatur Zone:         60 mm (+/- 1 ° C) bei 1000 ° C
  • Sie messen die Ofentemperatur        Profil für Ihre eigene Anwendung, bevor Sie Filmwachstum machen.

Temperaturregler

  • pid        automatische steuerung über elektronisches relais mit 30 programmierbaren stufen
  • gebaut        Schutz vor Übertemperatur und Thermoelementversagen
  • Optional: das        Der Ofen kann vom PC mit der Installation von a betrieben werden Kontroll Modul . bitte bestellen Sie eine mts02-b Kontrolle        Modul gegen Aufpreis.

Temperaturgenauigkeit

+/- 1 ° c

Heizelemente

Mit Mo dotierte Fe-Cr-Al-Legierung



Schlauchgröße

  • 2 "        Quarzrohr (50 mm o.d x        44 mm Innendurchmesser x 1000 mm l)
  • zwei faserige Keramikrohrblöcke sind        enthalten zum Blockieren der Wärmestrahlung aus der Rohrkammer. (Keramik        Blöcke müssen vor dem Erhitzen vollständig in die Ofenkammer eingeführt werden.)
  • Ein kleines Quarzschiff ist        Im Lieferumfang enthalten sind Proben- oder Verdampfungsmaterialien.

Vakuumflansche

2 "Standardflansch mit   1/4 '' - Bardenverschraubungen, 1/4 '' - Rohrdurchführungsöffnung (für 1/4 "o.d.   Thermoelementeinsatz) und einen kf25-Vakuumanschluss Klicken Sie auf das Bild unten, um Details zu sehen.)

Vakuumniveau

10 -2 Torr (durch   mechanische Pumpe)


passende Anschlüsse
&Ampere;
optionale Teile

  • Möglicherweise benötigen Sie eine Vakuumventil bei        das Vakuum-Anschlussende (zum Bestellen Bild links anklicken)
  • Sie können in Betracht ziehen, um zu bestellen Schnellanschlussflansch beim        Extrakosten.

  • Sie können bestellen        Mehrkanal-Gasversorgungssystem für DVD- oder DVD-Betrieb.

Maße

bei geschlossenem Deckel: 1055 mm (l) × 300 mm (B) × 400 mm (H)
bei geöffnetem Deckel: 1055 mm (l) × 300 mm (b) × 560 mm (h)

Nettogewicht

22 kg

Versand Paket Größe

48 '' (l) x 24 '' (b) x 28 '' (h)

Versandgewicht

120 lbs

Garantie

1 Jahr eingeschränkte Garantie mit Unterstützung der Hubzeit (Verbrauchsmaterial)   Teile wie Verarbeitungsrohre und O-Ringe fallen nicht unter die   Garantie.

Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional)

  • Marke        neuer laptop mit microsoft window 10 und microsoft office 2013 (30 tage        kostenlose Testversion) zur sofortigen Verwendung.
  • labview        basiertes Temperaturkontrollsystem ermöglicht        Benutzer zum Bearbeiten des Temperaturprofils, Verwalten des Wärmebehandlungsrezepts und Aufzeichnen        und Zeichnungsdaten für MTI-Öfen.
  • ein        Die kabellose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • über        Funktionen sind auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD).        Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.




Beachtung

  • ce        zertifiziert
  • alle        elektrische komponenten (& gt; 24 v) sind ul / met / csa zertifiziert

  • das        Ofen ist bereit zu übergeben        tuv (ul61010) oder csa zertifizierung gegen aufpreis.

Anwendungshinweise


  • Tube        Öfen mit Quarzröhren sind für die Verwendung unter Vakuum und niedrig ausgelegt        Druck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa
  • ein Achtung : Es muss ein zweistufiger Druckregler für Gas installiert werden        Zylinder, um den Druck für einen sicheren Betrieb auf unter 3 psi zu begrenzen. Vakuumgrenzwertdefinition für alle Quarzrohröfen: * Vakuumdrücke        darf nur bis 1000 ° c sicher verwendet werden
  • Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder        200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen
  • wenn        Sie möchten die Probe im Vakuum abkühlen?        unter Modell

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1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.