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RTP Tube Furnace

Kompaktes 4 "-Rohrofensystem mit Turbomolekularvakuumstation und komplettem Zubehör (bis zu 1e-4 Torr und 1100c)

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-HV-LD
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 day
Produktdetails

kompaktes 4 "-Rohrofensystem mit Turbomolekular-Vakuumstation und komplettem Zubehör (bis zu 1 bis 4 Torr und 1100 c)


tmax-1200x-rtp-4-hv ist ein ul zertifizierbar kompakt Hochvakuumofen mit schnellem thermischen Verarbeitungsrohr (4 Zoll Innendurchmesser) Station (Membranpumpe + Turbomolekularpumpe) und kf-d25 Vakuumflansch Versammlung. Es ist für das Tempern von Halbleiterwafern oder Solarenergie ausgelegt Zelle bis 3 "Durchmesser Ofen ist erhitzt von 8 Einheiten 1 kW Halogenlicht um das Verarbeitungsrohr mit einem max. Heizrate von max. 50 c / s. 50 Segmente Präzisionstemperatur Der Regler ist mit einer Genauigkeit von +/- 1 eingebaut ° c.


Ofen

Struktur

kompakt   4 “rtp rohrofen Doppelschicht Stahlgehäuse   Mullite Liner)

Heizung   Element

8   Stück Halogenlichtröhre (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

Arbeiten   temp.

1100 ° c   max. ( Die maximale Haltezeit dieses Hochofens   muss bei 1000 ºC ~ 1100 ºC kürzer als 600 Sekunden sein, andernfalls kann der O-Ring   schmelzen )

max   Erwärmungsrate

50 ° C / Sek

max   Kühlrate

64 ° C / min   (unter Vakuum: 200 mTorr), 117 ° C / min (unter Atmosphärendruck)

Heizung   Zone

12 "   Länge mit 4 "konstanter Temperaturzone innerhalb einer Gleichmäßigkeit von +/- 1 ° C

Programm   temp. Regler

  • pid automatische steuerung        über scr        (silikongesteuerter Gleichrichter) Stromschalter        mit Phasenwinkel gezündet, Strombegrenzungswiderstand.
  • 30 programmierbare Segmente für        Präzise Steuerung von Aufheizrate, Abkühlrate und Verweilzeit.
  • Bitte klicken Sie hier, um zu erfahren, warum scr        ist genauer als ssc (solid state relay).
  • eingebaute PID Auto-Tune-Funktion mit        Überhitzung & amp; defektes thermoelement defekter schutz.
  • Über        Temperaturschutz und Alarm ermöglichen den Betrieb        ohne Begleiter.
  • +/- 1 ° C Temperaturgenauigkeit.
  • RS485-Kommunikationsanschluss.
  • pc        Steuerung:
    • ein mts-02 Kontroll Modul ist         Inklusive PC-Steuerung für diesen Ofen.
    • das         neue version des pc moduls ist jetzt kompatibel mit lab view 05/08/2014
    • ein         Laptop-PC kann für 900 $ zusammen mit dem Ofen bestellt werden. wir         Wir empfehlen, einen Computer (Laptop) bei uns zu bestellen, um Software zu vermeiden         Installationsprobleme wie wir         führt die Installation und Prüfung vor dem Versand durch .

Quarz   Röhre & amp; Beispiel halter

  • Größe der Quarzröhre: 4.33 "o.d x        4,05 "i.d x 16,2 "        Länge
  • 3"        Der Probenhalter mit Durchmesser wird in den Gleitflansch eingesetzt, der aus besteht        Quarz
  • einer        3 "Durchmesser Aln Wafer wird in der Mitte des Halters für platziert        Glühprobe bis Ø 3 "
  • aln        hat eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit, die die beste Temperatur liefert        Gleichmäßigkeit im Probenbereich
  • das        Probenhalter ist vom Flansch abnehmbar

Vakuum   Flansch

kf-d25   Hochvakuumflansch aus Edelstahl mit doppelter Hochtemperatur. Silikon   O-Ringe, Nadelventile.
Der Schiebeflansch erleichtert das Laden von Proben. 3 "Quarzprobe   halter.einsteckbares thermoelement für genaue messung.

Wasser   Kühlmantel

  • Kühlwasser wird benötigt.
  • Bitte stellen Sie sicher, dass der Durchfluss von        Kühlwasser ist ≥ 10l / min, Wassertemp. & lt; 25ºc; Druck & gt; 25        psi.
  • Wir empfehlen die Verwendung der eq-kj5000-Serie Umlaufwasserkühler Als ein        Kühlsystem (bei verwandten Produkten bitte separat bestellen        unten), um Wasser zu sparen.

Warnung: Diese rtp   Die maximale Verweilzeit des Ofens muss bei 1000 ° C ~ 1100 ° C weniger als 600 Sekunden betragen   mit Leitungswasser, da sonst der O-Ring schmelzen kann. unter Verwendung eines Umlaufwassers   Chiller kann diese Haltezeit auf 1200 Sekunden verlängert werden.

fließen   Meter

einer   Der Durchflussmesser ist an der Vorderseite angebracht, um den Gasfluss von 0 - 160 einzustellen   ml / min

Leistung   Eingang

208-240   Wechselstrom, 50/60 Hz einphasig, 9 kW max. (& gt; 60a Leistungsschalter erforderlich)

hv   Bahnhof
Hochvakuumstation

Struktur

  • Handy, Mobiltelefon        Wagengröße: 600 (l) x 600 (B) x 700 (B), mm
  • max.        Laden: 600 Pfund an der Spitze
  • molekular        Pumpensteuertafel: LCD Digital
  • Membranpumpe und Turbomolekularpumpe sind        im Inneren des Stahlgehäuses installiert.

Vakuum   Grad

6.3e-5   mbar (mit 4 "-Rohrofen in 40 Minuten)

Steuerung   panel

  • Ein-Knopf-Bedienung - die Membranpumpe        und die Turbomolekularpumpe startet nach Drücken von "Start"        Taste.
  • Systemgesteuerte Drehgeschwindigkeit - Der Controller wird        regle die drehzahl der turbine nach oben und unten        Vakuumniveau und Leckrate der Reaktionskammer.
  • Selbstschutz - Das System wird        Schützen Sie die Pumpe vor Beschädigung durch Überhitzung        Die Leckrate der Reaktionskammer ist zu hoch, um ein hohes Vakuum zu erreichen.

  • LCD Bildschirm - doppelte Zeilen        Schnittstelle zur Überprüfung der Parameter machen        die Arbeit leichter zu handhaben.

Selbsttest Hochdrehen

Anfang   Zeit

2   Protokoll

sichern   Pumpenvolumenstrom bei 10 mbar

3.8   l / min für 50 Hz und 4,4 l / min für 60 Hz

Leistung   Eingang

110v   Wechselstrom oder 220 V Wechselstrom umschaltbar, 50/60 Hz

Leistung   Verbrauch

Dauer / max   Leistung: 100/110 Watt

Versand   die Info

Gewicht   und Dimension

rtp   Ofen: 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 ")   Zoll) l x B x h
HD-Station: 600 x 600 x 700 mm (24 x 24 Zoll x 28 Zoll)   L x B x H

Garantie

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsteile wie Verarbeitung   Rohre, O-Ringe fallen nicht unter die Garantie, bitte bestellen Sie Ersatz unter   verwandte Produkte unten.)

Laptop,   Software & amp; WiFi-Steuerung (optional)

  • nagelneuer Laptop mit        Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013 (30 Tage kostenlose Testversion) für        sofortige Verwendung.
  • Labview-basierte Temperaturregelung        System Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten        Temperaturprofil, Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten aufzeichnen und plotten        für mti öfen.
  • eine Funkfernbedienung sorgt dafür        bis 300 Meter Reichweite.

  • Die oben genannten Funktionen sind auf verfügbar        Anfrage gegen Aufpreis (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen        Information.

Beachtung

  • ce        zertifiziert
  • das        ofen ist bereit, ul 61010, iec 61010, spe-1000 durch nrtls getestet zu passieren        gegen Aufpreis. Bitte kontaktieren Sie uns für ein Angebot und Detailinformationen.
  • Temperatur        controller ist erfüllt und ce zertifiziert
  • hoch        Vakuumstation ist tuv-zertifiziert

sliding furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


 Vacuum Tube Furnace


1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.