1200 ° C pe / cvd Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem

tmax-1200pecvd chemische bedampfung (cvd) und plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) mit Mehrzonenaufteilung Röhrenöfen verfügen über die berühmten kanthal ^® (Schweden) Drahtheizelemente eingebettet in hoher Qualität mitsubishi ^® (Japan) Aluminiumoxidfaserisolierung. alle Stahl-Dual-Layer-Gehäuse sorgt für Langlebigkeit und hilft, Wärmeverluste zu minimieren Außenfläche.

Ofenbetrieb ist kontrolliert von shimaden ^® (Japan) 40-Segment-Digitalregler Mit integriertem RS485-Digitalkommunikationsanschluss und USB-Adapter benutzer zum verbinden mit einem pc zur fernsteuerung und überwachung des ofens. Sie kann auch Testergebnisse speichern oder exportieren.

Alle unsere Öfen sind CE konform.

Eigenschaften

1 kompakt, tragbares und leichtes Design.

2 niedriger Erforderliche Verarbeitungstemperaturen im Vergleich zu herkömmlichen CDs.

3 Film Stress kann durch Hoch- / Niederfrequenzmischtechniken gesteuert werden.

4 Teilt Ofenkammer für schnellen und einfachen Zugang zum Rohr.

5 Standard Das Paket beinhaltet einen Satz Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmessgerät.

6 Mikroprozessor Die auf Selbstoptimierung basierende PID-Regelung sorgt für einen optimalen thermischen Prozess bei minimaler Belastung überschießen.

7 mehrere Atmosphärenprozesse in einem Zyklus sind möglich (z. B. Ausbrennen des Bindemittels an der Luft) und Teile, die unter rauem Vakuum oder in einer Inertgasumgebung sintern.)

8 eingebaut Amperemeter und Doppelvoltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlersuche.

9 eingebaut Computerschnittstelle.

10 langes Leben Thermoelement Typ k.

11 verschiebbar Mit der Ofenoption erhalten Sie ultraschnelle Abkühlraten

Sicherheit

1 überhitzen Der Schutz schaltet den Ofen ab, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Handbuch des Reglers) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder Fehlfunktionen.

2 Leistung Der Fehlerschutz nimmt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Fehlerpunkt wieder auf, wenn Macht ist wieder hergestellt.

Warnung! Befüllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff und Kohlenmonoxid und Methan.

Ofen, Vakuumpumpe und Gasmischsystem Spezifikationen

Tube   Material	Quarz
Heizung   Element	kanthal ® (Schweden) Widerstandsspulendraht
max.   gegen konstante Arbeitstemperaturen	1200 ° c   max. und 1100 ° C konstant
thermo   Paartyp	k
feuerfest   Futter	mitsubishi ® (Japan) 1500er Faser-Aluminiumoxid
Temperatur   Regler	shimaden ® (japan) fp93 mit 4 programmen und 40   Segmente (dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)
maximal   Heizung & amp; Kühlrate	& lt;   30 ° C / min
Temperatur   Controller-Präzision	+/-   1 ° C
Vakuum   Dichtflansch-Kit	rostfrei   Vakuumdichtungsflansche aus Stahl mit einem Vakuummeter, zwei Ventile und vier Thermokeramikblöcke.
elektrisch   Anforderungen	208-240vac,   50/60 Hz, einphasig

HF-Generator Spezifikationen

elektrisch   Anforderungen	208-240   Volt 50/60 Hz
Ausgabe   Leistung	5   bis 500 Watt, einstellbar in +/- 1% Schritten
rf   Frequenz	13   MHz mit +/- 0,005% Stabilität
Betrachtung   Leistung	200   Watt max.
passend	automatisch
rf   Ausgangsanschluss	50   Ω, n-Typ, weiblich
Kühlung	Luft

Standardpaket

Teilebeschreibung	Menge	Teilbild
Spaltrohrofen	1   einstellen
Mehrkanal   Gasversorgungssystem	1 Satz
Plasma   HF-Netzteil (optional)	1 Satz
Vakuum   Pumpe und Gehäuse (optional)	1 Satz
Quarz   Tube	1 Stck
analog   Durchflussmesser	1 Stck
rostfrei   Vakuumdichtungsflansche aus Stahl mit Druckmesser	1   einstellen
rostfrei   Stahlhaken	1   pc
Aluminiumoxid   keramischer thermischer Block	2   Paare
Thermal-   Handschuhe	1   Paar
schonen   Sicherung	2 Stück
USB / RS485-Computer   Interface-Kit	1   einstellen

1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.