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Vertikaler Pecvd-Ofen mit 1200 ° C, HF-Generator, Gasmischung und Pumpsystem
Model Number:
TMAX-VerticalPECVDZahlung:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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Vorherige:
1200 ℃ Dual-Zonen-Schiebe-Pecvd-SystemNächste:
1200 ° C PE / CVD-Ofen mit HF-Generator, Gasmisch- und Pumpsystem
1200 ° C vertikaler Pecvd-Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem
tmax-1200-pecvd Serienchemikalie Bedampfung (cvd) und plasmaunterstützte chemische Bedampfung (pecvd) Mehrzonen-Spaltrohröfen zeichnen sich durch die berühmten aus kanthal ® (Schweden) Draht Heizelemente in hoher Qualität eingebettet mitsubishi ® (Japan) Aluminiumoxid Faserisolierung. Das Dual-Layer-Stahlgehäuse sorgt für Langlebigkeit und hilft Wärmeverlust zur Außenfläche minimieren.
Ofenbetrieb ist kontrolliert von shimaden ® (Japan) 40-Segment-Digital-Controller mit integriertem RS485-Digital-Kommunikationsanschluss und USB-Adapter, so dass der Benutzer eine Verbindung zu einem PC für die Fernbedienung und Überwachung des Ofens. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.
Alle unsere Öfen sind CE konform.
Eigenschaften
· kompakt, tragbar und Leichtbau.
· niedrigere verarbeitung erforderliche temperaturen im vergleich zu herkömmlichen cvds.
· Filmstress kann sein gesteuert durch Hoch- / Niederfrequenzmischtechniken.
· geteilte Ofenkammer für Schneller und einfacher Zugang zur U-Bahn.
· Standardpaket beinhaltet Satz Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmesser.
· mikroprozessorbasiert Selbstoptimierende PID-Regelung sorgt für optimalen thermischen Prozess bei minimalem überschießen.
· mehrere Atmosphäre prozesse in einem zyklus sind möglich (zb ausbrennen des bindemittels an luft und teilen) Sintern unter rauem Vakuum oder Inertgasumgebung.)
· eingebauter Amperemeter und Doppelvoltmeter für einfache Überwachung und Fehlersuche.
· eingebauter Computer Schnittstelle.
· lange lebensdauer typ k Thermoelement.
· Option für verschiebbaren Ofen gibt Ihnen ultraschnelle Abkühlraten
Sicherheit
· Überhitzungsschutz schließt den Ofen herunterfahren, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Reglerhandbuch) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder Funktionsstörungen aufweist.
· Stromausfallschutz nimmt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfall wieder auf, wenn die Stromversorgung unterbrochen ist wieder hergestellt.
Warnung! Den Ofen niemals mit Sprengstoff füllen Gase, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.
Ofen, Vakuumpumpe und Gasmischsystemspezifikationen
Schlauchmaterial |
Quarz |
Heizkörper |
kanthal ® (Schweden) Widerstandsspulendraht |
max. vs konstant Arbeitstemperaturen |
1200 ° C max. und 1100 ° C konstant |
Thermoelement Art |
k |
feuerfeste Auskleidung |
mitsubishi ® (Japan) 1500er Faser-Aluminiumoxid |
Temperatur Regler |
shimaden ® (Japan) Fp93 mit 4 Programmen und 40 Segmenten |
maximale heizung &Ampere; Kühlrate |
& lt; 30 ° C / min |
Temperatur Controller-Präzision |
+/- 1 ° c (+/- 1,8 ° f) |
Vakuumversiegelung Flansch-Kit |
rostfreier Stahl Vakuumdichtungsflansche mit einem Vakuummeter, |
elektrisch Anforderungen |
220 VAC, 3,5 kW, einzelphase |
HF-Generator Spezifikationen
elektrisch Anforderungen |
208-240 Volt 50/60 Hz |
Ausgangsleistung |
5 bis 500 Watt, einstellbar in +/- 1% Schritten |
HF-Frequenz |
13,56 mhz mit +/- 0,005% Stabilität |
Reflexionskraft |
10 Watt max. |
passend |
automatisch |
HF-Ausgang |
50 Ω, n-Typ, weiblich |
Kühlung |
Luft |
Teilebeschreibung |
Menge |
Teilbild |
Spaltrohrofen |
1 Satz |
|
Mehrkanal-Gas versorgungs System |
1 Satz |
|
Plasma-HF-Leistung Lieferung (optional) |
1 Satz |
|
Vakuumpumpe und Gehäuse (optional) |
1 Satz |
|
Quarzrohr |
1 Stck |
|
Teflonschlauch (n Stehen Sie für die Anzahl der Röhren) |
n * 5 |
|
rostfreier Stahl Vakuumdichtungsflansche mit Druckmesser |
1 Satz |
|
rostfreier Stahl Haken |
1 Stck |
|
Aluminiumoxidkeramik Wärmeblock |
2 Paar |
|
Thermohandschuhe |
1 Paar |
|
hohe Temperatur al 2 Ö 3 Aluminiumoxid Tiegel |
5 Stück |
|
Ersatzsicherung |
2 Stück |
|
USB / RS485-Computer Interface-Kit |
1 Satz |
|
Ofen und shimaden controller manual |
2 Stück |
|
1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.
2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.
1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.
2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.
3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.