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PECVD Furnace

Vertikaler Pecvd-Ofen mit 1200 ° C, HF-Generator, Gasmischung und Pumpsystem

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
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    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
Produktdetails

1200 ° C vertikaler Pecvd-Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem

tmax-1200-pecvd Serienchemikalie Bedampfung (cvd) und plasmaunterstützte chemische Bedampfung (pecvd) Mehrzonen-Spaltrohröfen zeichnen sich durch die berühmten aus kanthal ® (Schweden) Draht Heizelemente in hoher Qualität eingebettet mitsubishi ® (Japan) Aluminiumoxid Faserisolierung. Das Dual-Layer-Stahlgehäuse sorgt für Langlebigkeit und hilft Wärmeverlust zur Außenfläche minimieren.


Ofenbetrieb ist kontrolliert von shimaden ® (Japan) 40-Segment-Digital-Controller mit integriertem RS485-Digital-Kommunikationsanschluss und USB-Adapter, so dass der Benutzer eine Verbindung zu einem PC für die Fernbedienung und Überwachung des Ofens. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.
Alle unsere Öfen sind CE konform.

Eigenschaften

· kompakt, tragbar und Leichtbau.

· niedrigere verarbeitung erforderliche temperaturen im vergleich zu herkömmlichen cvds.

· Filmstress kann sein gesteuert durch Hoch- / Niederfrequenzmischtechniken.

· geteilte Ofenkammer für Schneller und einfacher Zugang zur U-Bahn.

· Standardpaket beinhaltet Satz Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmesser.

· mikroprozessorbasiert Selbstoptimierende PID-Regelung sorgt für optimalen thermischen Prozess bei minimalem überschießen.

· mehrere Atmosphäre prozesse in einem zyklus sind möglich (zb ausbrennen des bindemittels an luft und teilen) Sintern unter rauem Vakuum oder Inertgasumgebung.)

· eingebauter Amperemeter und Doppelvoltmeter für einfache Überwachung und Fehlersuche.

· eingebauter Computer Schnittstelle.

· lange lebensdauer typ k Thermoelement.

· Option für verschiebbaren Ofen gibt Ihnen ultraschnelle Abkühlraten

Sicherheit

· Überhitzungsschutz schließt den Ofen herunterfahren, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Reglerhandbuch) oder wenn das Thermoelement defekt ist oder Funktionsstörungen aufweist.

· Stromausfallschutz nimmt den Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfall wieder auf, wenn die Stromversorgung unterbrochen ist wieder hergestellt.

Warnung! Den Ofen niemals mit Sprengstoff füllen Gase, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.


Ofen, Vakuumpumpe und Gasmischsystemspezifikationen

Schlauchmaterial

Quarz

Heizkörper

kanthal ® (Schweden)   Widerstandsspulendraht

max. vs konstant   Arbeitstemperaturen

1200 ° C max. und   1100 ° C konstant

Thermoelement   Art

k

feuerfeste Auskleidung

mitsubishi ® (Japan)   1500er Faser-Aluminiumoxid

Temperatur   Regler

shimaden ® (Japan)   Fp93 mit 4 Programmen und 40 Segmenten
(dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)

maximale heizung   &Ampere; Kühlrate

& lt; 30 ° C / min

Temperatur   Controller-Präzision

+/- 1 ° c (+/-   1,8 ° f)

Vakuumversiegelung   Flansch-Kit

rostfreier Stahl   Vakuumdichtungsflansche mit einem Vakuummeter,
zwei Ventile und vier Thermokeramikblöcke.

elektrisch   Anforderungen

220 VAC, 3,5 kW,   einzelphase

HF-Generator Spezifikationen

elektrisch   Anforderungen

208-240 Volt   50/60 Hz

Ausgangsleistung

5 bis 500 Watt,   einstellbar in +/- 1% Schritten

HF-Frequenz

13,56 mhz mit   +/- 0,005% Stabilität

Reflexionskraft

10 Watt max.

passend

automatisch

HF-Ausgang

50 Ω, n-Typ,   weiblich

Kühlung

Luft

Teilebeschreibung

Menge

Teilbild

Spaltrohrofen

1 Satz

Mehrkanal-Gas   versorgungs System

1 Satz

Plasma-HF-Leistung   Lieferung (optional)

1 Satz

Vakuumpumpe und   Gehäuse (optional)

1 Satz

Quarzrohr

1 Stck

Teflonschlauch (n   Stehen Sie für die Anzahl der Röhren)

n * 5

rostfreier Stahl   Vakuumdichtungsflansche mit Druckmesser

1 Satz

rostfreier Stahl   Haken

1 Stck

Aluminiumoxidkeramik   Wärmeblock

2 Paar

Thermohandschuhe

1 Paar

hohe Temperatur   al 2 Ö 3 Aluminiumoxid   Tiegel

5 Stück

Ersatzsicherung

2 Stück

USB / RS485-Computer   Interface-Kit

1 Satz

Ofen und   shimaden controller manual

2 Stück

PECVD Furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


laboratory muffle furnace


1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.