Eingangsleistung

• Einphasig 220 VAC, 50 / 60Hz
• 700 W (inkl. Vakuumpumpe)
• Für die Verwendung von 110 VAC legen wir einen Transformator für Sie bei. Bitte wählen Sie die Spannung in den Produktoptionen aus

Ausgangsleistung

• 1600 VDC
• 40mA max

Vakuumkammer

• Vakuumkammer: 150 mm ID x 165 mm AD x 150 mm H, hergestellt aus hochreinem Quarz
• Dichtflansch aus Edelstahl mit flachem O-Ring

Probentisch mit Heizung

• Bühnengröße: 50 mm Durchmesser.
• Sputterabstandsbereich: 25 – 40 mm einstellbar
• Drehbarer Tisch mit drei Sputterpositionen (Steuerung über Touchscreen)
• Substratheizung ist mit einer maximalen Heiztemperatur von 500 °C eingebaut
• PID-Temperaturregler mit einer Genauigkeit von +/- 1 °C ist in den Touchscreen integriert

Schalttafel

• 6-Zoll-Farb-Touchscreen mit SPS-Integration für einfache Bedienung
• Vakuummeter, Sputterstrommesser und Substrattemperaturregelung sind in das Touchscreen-Panel integriert
• Einstellknöpfe auf der Frontplatte für Gaseinlass und Sputterstromsteuerung
• Auf die Sputterposition, den Sputtertimer und die Prozessprotokollierung kann über den Touchscreen zugegriffen werden

Schild

• Rostfreier Stahl Schildkäfig ist für zusätzlichen Schutz enthalten

Sputter-Targets

• Anforderungen an die Zielgröße: 47 mm Durchmesser. x 2,5 mm max
• Im Standardpaket sind drei Targets für den sofortigen Einsatz enthalten:
• Au Ziel , 47 mm Durchm. x 0,12 mm
• Ag-Ziel , 47 mm Durchm. × 0,5 mm
• Cu-Ziel , 47 mm Durchm. × 2,5 mm
• Verschiedene Ziele sind bei MTI bestellbar

Vakuumpumpe
(Optional)

• Eingebauter KF25-Vakuumanschluss zum Anschluss an eine Vakuumpumpe.
• Vakuumpumpe mit KF25-Anschluss erforderlich, aber nicht im Lieferumfang enthalten. Der Benutzer kann wählen
• EIN zweistufige mechanische Vakuumpumpe für Vakuum bis 1,0E-2 Torr.
• Oder ein Turbopumpe für Vakuum bis 1,0E-5 Torr
• Die Vakuumpumpe kann zur automatischen Steuerung an die Steckdose links am Beschichter angeschlossen werden
• 

Maße

• 440 mm L × 330 mm B × 455 mm H

Reingewicht

• 50 kg

Beachtung

• CE-Zulassung
• MET-Zertifizierung (UL 1450) ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich, bitte kontaktieren Sie unseren Vertriebsmitarbeiter für ein Angebot

Garantie

• Ein Jahr begrenzt mit lebenslangem Support

Anwendungshinweise

• Für die beste Haftfestigkeit zwischen Film und Substrat reinigen Sie bitte die Substratoberfläche vor dem Beschichten:
• Ultraschallreinigung mit den folgenden aufeinanderfolgenden Bädern – (1) Aceton, (2) Isopropylalkohol – zum Entfernen von Öl und Fett. Föhnen Sie das Substrat mit N2 trocken und backen Sie es dann im Vakuum heiß, um absorbierte Feuchtigkeit zu entfernen
• Eine Plasmareinigung kann zum Aufrauen der Oberfläche, zur Aktivierung chemischer Oberflächenbindungen oder zum Entfernen zusätzlicher Verunreinigungen erforderlich sein
• Eine dünne Pufferschicht (~5 nm) wie Cr, Ti, Mo, Ta könnte aufgebracht werden, um die Haftung von Metallen und Legierungen zu verbessern

• Ein zweistufiger Druckregler (nicht im Lieferumfang enthalten) sollte an der Gasflasche installiert werden, um den Ausgangsdruck des Gases für eine sichere Verwendung auf unter 0,02 MPa zu begrenzen. Bitte verwenden Sie > 5N reines Ar-Gas zum Plasmasputtern
• Der Sputter-Coater kann zum Beschichten in eine Ar- und N2-Gas-Handschuhbox gestellt werden
• HOCHSPANNUNG! Sputterköpfe werden an Hochspannung angeschlossen. Aus Sicherheitsgründen muss der Bediener das Gerät vor dem Laden von Proben und dem Wechseln von Zielen abschalten
• Dieses Modell ist aufgrund der geringen Energie nicht zum Beschichten von leichten metallischen Materialien wie Al, Mg, Zn, Ni usw. geeignet. Bitte beachten Sie unseren Magnetron-Sputter-Coater oder thermischen Verdampfungs-Coater. Klicken Sie auf die Bilder unten für Details