DC- oder HF-Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichtungsbeschichtung

DC- oder HF-Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputter-Beschichtungsbeschichtung Einführung Hoch Vakuum-Magnetron-Ionen-Sputtering-Coater ist ideal und konzipiert für die Materialwissenschaft und Probenvorbereitung. Es wird von den meisten Universitäten und wissenschaftlichen Forschungsinstituten der Materialwissenschaft und -technik zum Beschichten von Metallen, Keramiken, Halbleitern, Isolatoren oder anderen Arten der Membranmaterialvorbereitung verwendet. Hochvakuum-Magnetron-Ionen-Sputtering Coater bietet die stabilste Sputterumgebung und erreicht die grundlegenden experimentellen Bedingungen des Magnetron-Sputterns in sehr kurzer Zeit. Es bietet zwei Arten von DC / RF-Sputterleistungsoptionen, die das Sputtern von leitfähigen oder nicht leitfähigen Substanzen auf Proben ermöglichen und die Leistung der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) verbessern. Es eignet sich auch hervorragend zur Oberflächenbehandlung und Beschichtung. Es ist einfach zu bedienen und auch benutzerfreundlich. Vakuumpumpe und Kühler sind im Lieferumfang enthalten. Parameter Vakuum p ump s et ( Ö nicht erforderlich) r otary v Akuum p ump+( Ö ich bin frei) t Urbo m oleculan p Ump-Set Rotierend p Umping s gepinkelt 50 Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz : 19,2 m³ /h (5,2 l/s) Molekular p Umping s gepinkelt 300 l/ s Vakuum l imitieren 5 * 10 -5 Pa Arbeiten p Druck 0,5-5 Pa Staubsaugen t ich mich > 10 Minuten (10 -3 Pa) Vakuum m Leichtigkeit Messbereich von Atmosphäre bis 1*10 -6 Pa Gas c steuern Gas f niedrig c Controller Kammer s Größe φ260*200mm (Höhe) m u.a Magnetron t arget s Quelle Zielgröße φ 50 * 3 mm (Cu) / t Zielquelle: w eak m magnetisch s Substanz / m Materialien Betrieb m Methode Anleitung Handbuch l Gewicht/ s Größe 100 kg/610 mm Länge x 420 mm Breite x 490 mm hoch Leistung s liefern Wechselstrom 110 V 60 Hz oder Wechselstrom 220 V 50 Hz Leistung c Verbrauch < 3000 W Kühlung m Methode Luft c ölen ( p ump)+ w ater c ölen ( s putzen t arget) Garantie Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Produktunterstützung