Vakuum p ump s et

( Ö nicht erforderlich) r otary v Akuum p ump

Rotierend p Umping s gepinkelt

50Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/ 60 Hz: 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/s)

Vakuum l imitieren

2 Pa

Maximaler Sputterstrom

0-20mA

Arbeiten p Druck

30Pa - 7 Pa

Staubsaugen ti mich

<5 Mindest( 2 Pa)

Vakuum m Leichtigkeit

Messbereich von Atmosphäre bis 2*10 ^-2 Millibar

Gas c steuern

Gas f niedrig c Controller

Kammer s Größe

Φ fünfzehn 0* 12 0 mm (Höhe) kratzfestes Quarzglas

Magnetron t arget s Quelle

Zielgröße φ 50* 0,1 mm( EIN u)/ t Zielquelle: Au,Ag,Pt

Betrieb m Methode

Anleitung Handbuch l

Gewicht/ s Größe

45 kg/ 36 0mm Länge x 30 0 mm breit x 38 0 mm hoch

Leistung s liefern

Wechselstrom 110 V 60 Hz oder Wechselstrom 220 V 50 Hz

Leistung c Verbrauch

< fünfzehn 00 W

Kühlung m Methode

Luft c ölen

Garantie

Ein Jahr eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Produktunterstützung t