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PECVD Tube Furnace

Mini Single Temperaturzone Schiebe Pecvd Rohrofen

  • Model Number:

    TMAX-1200-SlidingPEC
  • Zahlung:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    15 day
Produktdetails

Mini Single Temperaturzone Schiebe Pecvd


tmax1200-s-h-pecvd System ist Bestehend aus T11200 Vakuumröhrenofen, Quarz Vakuumkammer, HF-Stromversorgung, Gasversorgungssystem gx, Pumpsystem und Vakuummesssystem.

Haupteigenschaften:

1. das Gas in Die Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.

2. pecvd ist niedriger als normaler cvd für chemische bedampfung.

3. der stress von Die abgeschiedenen Filme können durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.

4. pecvd hat Hohe Abscheiderate, gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Stabilität als normal cvd.

5. weit verbreitet im Wachstum von verschiedenen Filmen, wie Siox, Sinx, Sioxny und amorph Silizium (a-si: h) usw.

die tmax1200-s-h-pecvd systemtechnik zum schwedischen kanthal widerstandsdrahtheizelement, unter Verwendung einer Doppelschalenstruktur und einer 30-Programm-Temperatursteuertabelle, Phasenverschiebungs-Trigger, Thyristorsteuerung, Ofen mit polykristallinem Aluminiumoxidfasermaterial, kann Flanschdichtung des rostfreien Stahls an beiden Enden Ofenrohr, Edelstahl Flansch Installation haben eine Mündung, Ventil und Manometer, Vakuum, Vakuumgrad kann 10-3 pa, Feld der niedrigen Temperatur erreichen Auswuchten, Oberflächentemperatur, Hebetemperatur, Energieeinsparung, Preis Zugeständnisse usw.

1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden

kanthal A1 original Draht chinesischen Widerstand Drahtofen vs   importierter Widerstandsdrahtofen

(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen

(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf geachtet werden), rostet es nicht und die Nutzungsdauer sinkt nicht von der Schlacke.

(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen

(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com

(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut

Die meisten Hersteller verwenden mit Mo dotierte Fe-Cr-Al-Legierungen Widerstandsdraht, der

Manchmal ist der Widerstand ungleichmäßig und ein Teil der Hitze ist gering                                           kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärme ausgeglichen, gute temperatur feld                                                                                                                                                                       bewirken

2. Installation von Luft Schalter und Auslaufschutz:

wenn ein elektrischer Strom oder ein Leck, eine leere Sitzung automatisch trennt.

3. kann mit dem Computer verbinden

dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und ausgestattet Software, kann direkt durch die Ofencomputersteuerung von jedem sein Parameter und kann vom Computer pv auf dem Herd und sv beobachtet werden Temperaturwert und Gerätebetrieb, die aktuelle Temperatur des Ofenkurven-Zeichnungscomputer Realzeit und kann die Temperaturdaten von halten kann jederzeit abgerufen werden

4. Kammer

(1 ) hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid Fasergehärteter Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.

(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.

(3). der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen sind nach der besten thermotechnik japans angeordnet, und die Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert

(4). mit 4 Wochen Erwärmung ist die Temperatur ausgeglichener

5. fakultative ul zertifizierte elektrische Bord (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräte)

6. auslösen

weicher Start Strombegrenzungsauslöser                           Die meisten Hersteller verwenden nicht einschränkende Xiamen-Bode-Trigger

1 Phasenschieber (mit Sanftanlauf und Strombegrenzung) Funktion)

2. Strombegrenzungsfunktion, egal wie die Heizung eingestellt wird Zeit wir Elektroofen nach dem Transformator Sekundärstrom ist begrenzt auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung. nicht einschränkender Trigger wenn Die Heizrate ist falsch oder zu schnell eingestellt. Schwachstrom ist sehr groß das gerät löst aus oder brennt aus.

3 Softstart-Funktion Der Strom erhöht sich langsam Strom ist der Aufprall des Heizelementes gering und förderlich für die Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements

4 die Schutzfunktion, wenn der Strom den Grenzwert überschreitet Strom schaltet der Trigger die Triggerfunktion automatisch ab der aktuelle Schutzofen.

7. ul zertifizierter Transformator

1 Das Trafokabel ist rein Kupfer

2 Der Transformator klingt klein

3 ist die Transformatortemperatur niedrig

8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser 25 bis 250 mm)

Modell-

tmax-1200-slide-pecvd1

tmax-1200-schiebepecvd2

Leistung

1.5kw

Tube   Größe

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

insgesamt   Abmessungen (LxTxH)

1800x410x610

1800x460x660

das   Versorgungsspannung

220   v

rutschen   Schienenmaterial

304   rostfreier Stahl

gleiten   Modus

rostfrei   Stahlwälzlager

Nummer   der Phase

Single   Phase

Heizung   Element

importieren   schwedischer canthal a1 widerstandsdraht klicken sie in den datendownload

der Steuermodus

mit dem elektrischen Programm-Thermometer (Standard)
1. 30 Programmsteuerungstemperatur intelligente PID-Einstellung.
2. Der Heizkreis des Elektroofens kann automatisch unterbrochen werden   wenn es durch Wärme geschützt oder versehentlich gebrochen wurde. (Wenn der Ofen   Temperatur 1200 Grad überschreitet oder das Thermoelement ist defekt, das Wechselstromrelais   Auf dem Hauptstromkreis wird automatisch die Verbindung getrennt, der Hauptstromkreis ist   gebrochen, das Licht auf dem Panel ist aus, das Licht aus, die begrenzte Schutz   elektrischer Ofen.
3. mit 485 kommunikationsschnittstelle (standard und standard für wahl   Software)
4. Es hat die Funktion des Stromausfallschutzes, das heißt, wenn der Strom ausfällt   ist aus, startet das Programm nicht von der Anfangstemperatur, sondern von der   Der Ofen beginnt zu steigen, wenn der Strom abgeschaltet wird.
Das Gerät hat die Funktion der Temperatur-Selbsteinstellung


(Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir eine weitere Gebühr zahlen.)

fp93 temperaturregelungstabelle europäisch   Instrumente Touchscreen-Instrument

(shimaden)

das   Temperaturregelungsmodus

pid

gebrochen   gleichmäßiger Schutz und Anzeige

Ja

Über   Temperaturschutz

Ja

Über   aktueller Schutz

Ja

Steuerung   Präzision

+   / - 1

das   auslösen

Phase   Schalthebel

elektrisch   Haushaltsgeräte

Zhejiang   chint

Silizium   geregelter Gleichrichter

106 / 16e   Westtor, Deutschland

das   höchste Temperatur

Temperatur   zone1: 1200 Temperaturzone 2: 1200

das   Nenntemperatur

Temperatur   zone1: 1100 Temperaturzone 2: 1100

Heizung   Bewertung

das   20 / min oder weniger (kann ändern   entsprechend der Anforderung )

empfohlen   Erwärmungsrate

10 / min oder les s

Modell-   des Thermoelements

Zonen   1: Temperaturbereich vom Typ k 2: Typ k

Heizung   Länge

Zonen   1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm

elektrisch   Zertifizierung

ce

umgebung   Oberflächentemperatur

45 oder les s

rf   Energieversorgung

(Plasma   Generator)

Leistung   Ausgabebereich

0-500   w

maximal   reflektierte Kraft

200   w.

Arbeiten   Frequenz

rf:   13,56 MHz plus oder minus 0,005%

Leistung   Stabilität

+   / - 0,1%

harmonisch   Komponente

-   50 oder weniger dbc

rf   Breite

0-600   - mm ist einstellbar

passend   Modus

automatisch

Kühlung   Modus

Luft   kalt

Lärm

das   & lt; 50 db

das   Hochfrequenz-Schnittstelle

50   Ω n - Typ

Eingang   Leistung

208-240   - v 50/60 Hz

Main   Parameter des Gasversorgungssystems gx

Masse   Durchflussmesser
das Standardsortiment
unter Verwendung des Protonenflussreglers 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(Sie können den Bereich des Bereichs und die Art des Gases wählen)
Maximaler Arbeitsdruck 3 mp
die Genauigkeit von plus oder minus 1,5%
der Druckabfall & lt; 0,01 mPa & lt; p = & gt;
Wiederholgenauigkeit plus oder minus 0,2% fs

Kanäle:

1,   2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional)

Joint   Art

doppelt   Kassettenanschluss aus Edelstahl

System   Arbeitsdruckbereich

0,1   ~ 0,5 mpa

Arbeiten   Temperatur

5-45

Druck   Vakuum Uhr

0,1   ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton

statisch   Mischkammer

dia50   x 400 mm

Schnittstelle

dia6   1/4 "

das   Energieversorgung

220   v

Größe

600   x600x600

gewellt   Rohr

kf25x1000mm

das   Vakuumgrad kann mit diesem System erreicht werden

10-1   der pa

Vakuum   Prallventil

kf25

vrd   bis 8 Vakuumpumpe

Modell-

vrd   bis 8

einschränkend   Partialdruck

5   x10-2 pa

Einlass   Abgasschnittstelle

kf25

Motor-   Geschwindigkeit

1440   U / min

Extraktion   Bewertung

2.2   l / s

Motor-   Leistung

0,4   kw

perfeer   acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2)

Modell-

acp15

Leistung   liefern

ac100   ~ 240 V, 50/60 Hz

Leistung

450   w

Auspuff   Schnittstelle

kf25

Gewicht

25   kg

das   maximale Heliumleckrate ist

5   · 10-8 pa m3 / s

extrem   Vakuumgrad

0,02   Torr

das   Extraktionsrate ist

14   m3 / h

Modell-

zdr   - 1

Leistung

25   w.

Vakuum   Grad Messbereich

0,1-10   5 pa

Widerstand   Silizium

Was   zj musste 52 t

Schweden   (Inficon) Pirani-Kapazitätsvakuummeter (optional)

Modell-

pcg554

Eingang   Stromspannung

24v   1a dc (ausgestattet mit 220 v transformator)

Vakuum   Messgerät Schnittstelle

kf16

Digital   Anzeige

Digital   Display (Bildschirmgröße 20x14mm), dessen Datenanzeigeeinheit Torr ist

Produkt   Größe

46mm   x 28 mm x 126 mm (L x B x H)

das   Gewicht der

5   lbs

Erkennung   von Gas

verschiedene   Gase können erkannt werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar.

ob   der Korrosionsschutz

Korrosion   Schutz

das   Reaktionszeit

30   ms oder weniger

Messung   Angebot

3.8   x10-5-1125 Torr.

molekular   Pumpeneinheit (optional)

Einheit   Eingangsspannung

380   v / 220 v

gewellt   Rohr

kf40x1000

Vakuum   Prallventil

kf40

Fall   Größe

600   x600x600

molekular   Pumpe

molekular   Pumpenmodell

fj620

Eingang   Stromspannung

380   v

molekular   Pumpeneinlassflansch

DN160

molekular   Pumpenförderrate l / s (für Luft)

600

molekular   Pumpengrenzdruck (pa)

6   x 10-7

Kühlung   System

Wasser   abgekühlt

Kühlung   Wasserdruck (mpa)

0,1   bis 0,2

Kühlung   Wassertemperatur

& lt;   25 & lt; p = & gt;

das   Umgebungstemperatur

0   ~ 40

empfohlen   Startdruck

& lt;   100 pa & lt; p = & gt;

Motor   Vakuumpumpe rvp - 6

Leistung

0,75   kw

Stromspannung

380   v

Geschwindigkeit

1450   U / min

Einlass   Durchmesser

kf25   / kf40

Pumpe   Förderrate (l / s)

6

ultimative   Druck

4   x10-2 pa

Deutsche   pfeiffer Vakuumpumpe

Stromspannung

220   v

Leistung

110   w.

Extraktion   Schnittstelle

kf40

das   Gewicht der

150   kg

Pumpe   Geschwindigkeit der vorderen Pumpe

0.9   m 3 / h

Extraktion   rate (n2)

33   Frau

Verbindung   Vakuummessgerät

Verbindung   Vakuummessgerät Modell

zdf

das   Energieversorgung

220   v 55 w

Steuerung   Präzision

Plus   oder minus 1%

Vakuum   Messbereich

10-5-10   5 pa

PECVD Furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


laboratory muffle furnace


1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.