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Pecvd-Röhrenofen mit 3 Temperaturzonen
Model Number:
TMAX-1200-1400-1200:
XiamenZahlung:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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Vorherige:
Mini Single Temperaturzone Schiebe Pecvd RohrofenNächste:
3 temperaturzone 150 mm od pecvd ofen
Pecvd-Röhrenofen mit 3 Temperaturzonen
tmax-1200-1400-1200 System ist Bestehend aus T11200 Vakuumröhrenofen, Quarz Vakuumkammer, HF-Stromversorgung, Gasversorgungssystem gx, Pumpsystem und Vakuummesssystem.
Haupteigenschaften:
1. das Gas in Die Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.
2. pecvd ist niedriger als normaler cvd für chemische bedampfung.
3. der stress von Die abgeschiedenen Filme können durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.
4. pecvd hat hoch Abscheiderate, gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Stabilität als bei normaler DVD.
5. weit verbreitet im Wachstum von verschiedenen Filmen, wie Siox, Sinx, Sioxny und amorph Silizium (a-si: h) usw.
tmax1200-1400-1200-h-pe Systemtechnik zum schwedischen Kanthal-Widerstandsdrahtheizelement, unter Verwendung einer Doppelschalenstruktur und einer 30-Programm-Temperatursteuertabelle, Phasenverschiebungs-Trigger, Thyristorsteuerung, Ofen mit polykristallinem Aluminiumoxidfasermaterial, kann Flanschdichtung des rostfreien Stahls an beiden Enden Ofenrohr, Edelstahl Flansch Installation haben eine Mündung, Ventil und Manometer, Vakuum, Vakuumgrad kann 10-3 pa, Feld der niedrigen Temperatur erreichen Auswuchten, Oberflächentemperatur, Hebetemperatur, Energieeinsparung, Preis Zugeständnisse usw.
1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden
kanthal A1 original Draht chinesischen Widerstand Drahtofen vs importierter Widerstandsdrahtofen
(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen ℃
(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf geachtet werden), rostet es nicht und die Nutzungsdauer sinkt nicht von der Schlacke.
(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen
(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com
(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut
Die meisten Hersteller verwenden mit Mo dotierte Fe-Cr-Al-Legierungen Widerstandsdraht, der
Manchmal ist der Widerstand ungleichmäßig und ein Teil der Hitze ist gering kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärme ausgeglichen, gute temperatur feld bewirken
2. Installation von Luft Schalter und Auslaufschutz:
wenn ein elektrischer Strom oder ein Leck, eine leere Sitzung automatisch trennt.
3. kann mit dem Computer verbinden
dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und ausgestattet Software, kann direkt durch die Ofencomputersteuerung von jedem sein Parameter und kann vom Computer pv auf dem Herd und sv beobachtet werden Temperaturwert und Gerätebetrieb, die aktuelle Temperatur des Ofenkurven-Zeichnungscomputer Realzeit und kann die Temperaturdaten von halten kann jederzeit abgerufen werden
4. Kammer
(1 ) hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid Fasergehärteter Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.
(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.
(3). der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen sind nach der besten thermotechnik japans angeordnet, und die Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert
(4). mit 4 Wochen Erwärmung ist die Temperatur ausgeglichener
5. fakultative ul zertifizierte elektrische Bord (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräte)
6. auslösen
weicher Start Strombegrenzungsauslöser Die meisten Hersteller verwenden nicht einschränkende Xiamen-Bode-Trigger
1 Phasenschieber (mit Sanftanlauf und Strombegrenzung) Funktion)
2. Strombegrenzungsfunktion, egal wie die Heizung eingestellt wird Zeit wir Elektroofen nach dem Transformator Sekundärstrom ist begrenzt auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung. nicht einschränkender Trigger wenn Die Heizrate ist falsch oder zu schnell eingestellt. Schwachstrom ist sehr groß das gerät löst aus oder brennt aus.
3 Softstart-Funktion Der Strom erhöht sich langsam Strom ist der Aufprall des Heizelementes gering und förderlich für die Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements
4 die Schutzfunktion, wenn der Strom den Grenzwert überschreitet Strom schaltet der Trigger die Triggerfunktion automatisch ab der aktuelle Schutzofen.
7. ul zertifizierter Transformator
1 Das Trafokabel ist rein Kupfer
2 Der Transformator klingt klein
3 ist die Transformatortemperatur niedrig
8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser 25 bis 250 mm)
Modell- |
tmax-1200-1400-1200 |
Leistung |
6kw |
Schlauchgröße |
Ø 60 (od) x 2700 mm |
die Versorgungsspannung |
220 v |
Anzahl der Phasen |
einzelphase |
Heizkörper |
import schwedisch canthal a1 widerstand Draht klicken Sie in den Daten-Download |
der Steuermodus |
mit der elektrischen Programmsteuerung Thermometer (Standard)
fp93 temperaturregelung tableeuropean instrumente Touchscreen-Instrument (shimaden) |
der Temperaturregelungsmodus |
pid |
Gleichmäßiger Schutz und Display |
Ja |
Übertemperaturschutz |
Ja |
Überstromschutz |
Ja |
Kontrollgenauigkeit |
+/- 1 ℃ |
der Auslöser |
Phasenverschiebung auslösen |
Elektrogeräte |
Zhejiang Chint |
silikongesteuerter Gleichrichter |
106 / 16e Westtor, Deutschland |
die höchste Temperatur |
Temperaturzone 1: 1200 ℃ Temperatur Zone 2: 1200 ℃ |
die Nenntemperatur |
Temperaturzone 1: 1100 ℃ Temperatur Zone 2: 1100 ℃ |
Erwärmungsrate |
die 20 ℃ / min oder weniger (kann entsprechend der Anforderung ändern) |
empfohlene Heizrate |
10 ℃ / min oder weniger |
Modell des Thermoelements |
Zonen 1: Temperaturbereich vom Typ k 2: k-Typ |
Heizlänge |
Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm |
elektrische Zertifizierung |
ce |
umgebende Oberflächentemperatur |
45 ℃ oder weniger |
HF-Stromversorgung |
(Plasma-Generator) |
Leistungsbereich |
0-500 w |
maximale reflektierte Leistung |
200 w. |
Arbeitsfrequenz |
HF: 13,56 MHz plus oder minus 0,005% |
Stromstabilität |
+/- 0,1% |
harmonische Komponente |
- 50 oder weniger dbc |
HF-Breite |
0-600 - mm ist einstellbar |
Matching-Modus |
automatisch |
Kühlmodus |
Luft kalt |
Lärm |
die & lt; 50 db |
die Hochfrequenzschnittstelle |
50 Ω n - Typ |
Eingangsleistung |
208-240 - V 50/60 Hz |
Hauptparameter der Gasversorgung gx System |
Massendurchflussmesser |
Kanäle: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional) |
Verbindungstyp |
Doppelkassette Edelstahl Verbinder |
Arbeitsdruckbereich des Systems |
0,1 ~ 0,5 mpa |
Arbeitstemperatur |
5-45 ℃ |
Druck Vakuum Uhr |
0,1 ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton |
statische Mischkammer |
Durchmesser 50 x 400 mm |
Schnittstelle |
dia6 1/4 " |
die Stromversorgung |
220 v |
Größe |
600 x 600 x 600 |
Wellrohr |
kf25x1000mm |
Der Vakuumgrad kann mit erreicht werden dieses System |
10-1 der pa |
Vakuum-Prallventil |
kf25 |
vrd bis 8 Vakuumpumpe |
|
Modell- |
vrd bis 8 |
Partialdruck begrenzen |
5 x 10-2 pa |
einlass auslass schnittstelle |
kf25 |
Motor Geschwindigkeit |
1440 U / min |
Extraktionsrate |
2,2 l / s |
Motorleistung |
0,4 kw |
perfeer acp1 ölfrei mehrstufig Wurzelpumpe (Plan 2) |
|
Modell- |
acp15 |
Energieversorgung |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
Leistung |
450 w |
Abgasschnittstelle |
kf25 |
Gewicht |
25 kg |
Die maximale Heliumleckrate beträgt |
5 · 10-8 pa m3 / s |
extremer Vakuumgrad |
0,02 Torr |
die Extraktionsrate ist |
14 m3 / h |
Modell- |
zdr - 1 |
Leistung |
25 w. |
vakuum grad messbereich |
0,1-10 5 pa |
Widerstand Silizium |
was zj zu 52 t hatte |
schweden (inficon) pirani kapazität Vakuummeter (optional) |
|
Modell- |
pcg554 |
Eingangsspannung |
24v 1a dc (ausgestattet mit 220v Transformator) |
Vakuummeter-Schnittstelle |
kf16 |
Digitaler Bildschirm |
Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm), deren Datenanzeigeeinheit ist Torr |
Produktgröße |
46 mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H) |
das Gewicht der |
5 lbs |
Detektion von Gas |
Es können verschiedene Gase nachgewiesen werden einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar. |
ob der Korrosionsschutz |
Korrosionsschutz |
die Reaktionszeit |
30 ms oder weniger |
Messbereich |
3,8 x 10 & supmin; & sup5; bis 1125 Torr. |
Molekularpumpeneinheit (optional) |
|
Eingangsspannung der Einheit |
380 v / 220 v |
Wellrohr |
kf40x1000 |
Vakuum-Prallventil |
kf40 |
Gehäusegröße |
600 x 600 x 600 |
Molekularpumpe |
|
Molekularpumpenmodell |
fj620 |
Eingangsspannung |
380 v |
Einlassflansch der Molekularpumpe |
DN160 |
Pumpleistung der Molekularpumpe l / s (z Luft) |
600 |
Molekularpumpen-Grenzdruck (pa) |
6 x 10 & supmin; & sup7; |
Kühlsystem |
wassergekühlt |
Kühlwasserdruck (mpa) |
0,1 bis 0,2 |
Kühlwassertemperatur |
& lt; 25 ℃ & lt; p = "" & gt; |
die Umgebungstemperatur |
0 ~ 40 ℃ |
Vorgeschlagener Startdruck |
& lt; 100 pa & lt; p = & gt; |
Motorvakuumpumpe rvp - 6 |
|
Leistung |
0,75 kw |
Stromspannung |
380 v |
Geschwindigkeit |
1450 U / min |
Einlassdurchmesser |
kf25 / kf40 |
Pumpenförderrate (l / s) |
6 |
Enddruck |
4 x 10-2 pa |
deutsche pfeiffer vakuumpumpe |
|
Stromspannung |
220 v |
Leistung |
110 w. |
Extraktionsschnittstelle |
kf40 |
das Gewicht der |
150 kg |
Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe |
0,9 m 3 / h |
Extraktionsrate (n2) |
33 m / s |
Compound-Vakuummeter |
|
zusammengesetztes Vakuummessgerät Modell |
zdf |
die Stromversorgung |
220 v 55 w |
Kontrollgenauigkeit |
plus oder minus 1% |
Messbereich des Vakuummeters |
10-5-10 5 pa |
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