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- WhatsApp : +86 13003860308
- E-Mail : David@tmaxcn.com
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- : No. 39, Xinchang Road, Xinyang, Haicang Dist., Xiamen, Fujian, China (Mainland)
1200 ℃ Dual-Zonen-Schiebe-Pecvd-System
Model Number:
TMAX-1200-PECVD:
XiamenZahlung:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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- Wechat : 18659217588
Vorherige:
HF-Generator für Röhrenöfen mit 50, 80 oder 125 mm DurchmesserNächste:
Vertikaler Pecvd-Ofen mit 1200 ° C, HF-Generator, Gasmischung und Pumpsystem
1200 ℃ Dual-Zonen-Schiebe-Pecvd-System
Haupteigenschaften:
1. das Gas in Die Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.
2. pecvd ist niedriger als normaler cvd für chemische bedampfung
3. der stress von Die abgeschiedenen Filme können durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden
4. pecvd hat Hohe Abscheiderate, gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Stabilität als normal cvd.
5. weit verbreitet im Wachstum von verschiedenen Filmen, wie Siox, Sinx, Sioxny und amorph Silizium (a-si: h) usw.
diese Folie tl1200-1200 typ doppel temperatur pecvd system technik ist eine schnelle heizung, Kühltemperatur pecvd Systemtechnik, liegt im Temperaturbereich von Doppel-Pecvd-System auf einem Paar Gleitschienen montiert, Technik erhältlich manuelles Schiebesystem.
Heizung und Abkühlrate von bis zu 100 ° c / min.
um das zu bekommen am schnellsten aufheizen, den ofen vorher auf die eingestellte temperatur aufheizen, dann bewegen der Ofen auf die Probenposition.
um das zu bekommen Bewegen Sie den Ofen am schnellsten zum anderen Ende, nachdem die Probe erhitzt wurde.
Heizung und Abkühlrate unter Vakuum oder Inertgas Umgebung 10 ° C / s erreichen kann, ist ein niedriger kosten schnelle heizung und kühlung temperaturbereich von doppel pecvd system Technik.
1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden
kanthal A1 original Draht chinesischen Widerstand Drahtofen vs importierter Widerstandsdrahtofen
(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen ℃
(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf geachtet werden), rostet es nicht und die Nutzungsdauer sinkt nicht von der Schlacke.
(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen
(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com
(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut
Die meisten Hersteller verwenden mit Mo dotierte Fe-Cr-Al-Legierungen Widerstandsdraht, der
Manchmal ist der Widerstand ungleichmäßig und ein Teil der Hitze ist gering kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärme ausgeglichen, gute temperatur feld bewirken
2. Installation von Luft Schalter und Auslaufschutz:
wenn ein elektrischer Strom oder ein Leck, eine leere Sitzung automatisch trennt.
3. kann mit dem Computer verbinden
dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und ausgestattet Software, kann direkt durch die Ofencomputersteuerung von jedem sein Parameter und kann vom Computer pv auf dem Herd und sv beobachtet werden Temperaturwert und Gerätebetrieb, die aktuelle Temperatur des Ofenkurven-Zeichnungscomputer Realzeit und kann die Temperaturdaten von halten kann jederzeit abgerufen werden
4. Kammer
(1 ) hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid Fasergehärteter Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.
(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.
(3). der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen sind nach der besten thermotechnik japans angeordnet, und die Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert
(4). mit 4 Wochen Erwärmung ist die Temperatur ausgeglichener
5. fakultative ul zertifizierte elektrische Bord (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräte)
6. auslösen
weicher Start Strombegrenzungsauslöser Die meisten Hersteller verwenden nicht einschränkende Xiamen-Bode-Trigger
1 Phasenschieber (mit Sanftanlauf und Strombegrenzung) Funktion)
2. Strombegrenzungsfunktion, egal wie die Heizung eingestellt wird Zeit wir Elektroofen nach dem Transformator Sekundärstrom ist begrenzt auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung. nicht einschränkender Trigger wenn Die Heizrate ist falsch oder zu schnell eingestellt. Schwachstrom ist sehr groß das gerät löst aus oder brennt aus.
3 Softstart-Funktion Der Strom erhöht sich langsam Strom ist der Aufprall des Heizelementes gering und förderlich für die Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements
4 die Schutzfunktion, wenn der Strom den Grenzwert überschreitet Strom schaltet der Trigger die Triggerfunktion automatisch ab der aktuelle Schutzofen.
7. ul zertifizierter Transformator
1 Das Trafokabel ist rein Kupfer
2 Der Transformator klingt klein
3 ist die Transformatortemperatur niedrig
8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser 25 bis 250 mm)
Modell- |
tmax-1200-1200 - i |
tmax-1200-1200-ii |
tmax-1200-1200-iii |
tmax-1200-1200-iv |
|
Leistung |
3 kw |
3 kw |
4 kw |
4 kw |
|
Tube Größe |
120 (od) x1800mm dia |
60 (od) x1800mm dia |
80 (od) x1800mm dia |
100 (od) x1800mm dia |
|
insgesamt Abmessungen (LxTxH) |
1800 x480x680 |
1800 x410x610 |
1800 x410x610 |
1800 x460x660 |
|
das Versorgungsspannung |
220 v |
||||
rutschen Schienenmaterial |
304 rostfreier Stahl |
||||
gleiten Modus |
rostfrei Stahlwälzlager |
||||
Nummer der Phase |
Single Phase |
||||
Heizung Element |
importieren schwedischer canthal a1 widerstandsdraht klicken sie in den datendownload |
||||
das Steuermodus |
mit dem elektrischen Programm-Thermometer (Standard)
(Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir bezahlen eine weitere Gebühr.)
fp93 Temperiertabelle (Shimaden) europäisch Instrumente
Touchscreen-Instrument |
||||
das Temperaturregelungsmodus |
pid |
||||
gebrochen gleichmäßiger Schutz und Anzeige |
Ja |
||||
Über Temperaturschutz |
Ja |
||||
Über aktueller Schutz |
Ja |
||||
Steuerung Präzision |
+ / - 1 ℃ |
||||
das auslösen |
Phase Schalthebel |
||||
elektrisch Haushaltsgeräte |
Zhejiang chint |
||||
Silizium geregelter Gleichrichter |
106 / 16e Westtor, Deutschland |
||||
das höchste Temperatur |
Temperatur zone1: 1200 ℃ Temperaturzone 2: 1200 ℃ |
||||
das Nenntemperatur |
Temperatur zone1: 1100 ℃ Temperaturzone 2: 1100 ℃ |
||||
Heizung Bewertung |
das 20 ℃ / min oder weniger (kann entsprechend der Anforderung ändern) |
||||
empfohlen Erwärmungsrate |
10 ℃ / min oder weniger |
||||
Modell- des Thermoelements |
Zonen 1: Temperaturbereich vom Typ k 2: Typ k |
||||
Heizung Länge |
Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm |
||||
elektrisch Zertifizierung |
ce |
||||
umgebung Oberflächentemperatur |
45 ℃ oder weniger |
||||
rf Energieversorgung |
(Plasma-Generator) |
||||
Leistung Ausgabebereich |
0-500 w |
||||
maximal reflektierte Kraft |
200 w. |
||||
Arbeiten Frequenz |
rf: 13,56 MHz plus oder minus 0,005% |
||||
Leistung Stabilität |
+ / - 0,1% |
||||
harmonisch Komponente |
- 50 oder weniger dbc |
||||
rf Breite |
0-600 - mm ist einstellbar |
||||
passend Modus |
automatisch |
||||
Kühlung Modus |
Luft kalt |
||||
Lärm |
das & lt; 50 db |
||||
das Hochfrequenz-Schnittstelle |
50 Ω n - Typ |
||||
Eingang Leistung |
208-240 - v 50/60 Hz |
||||
Main Parameter des Gasversorgungssystems gx
|
Masse Durchflussmesser |
||||
Kanäle: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional) |
||||
Joint Art |
doppelt Kassettenanschluss aus Edelstahl |
||||
System Arbeitsdruckbereich |
0,1 ~ 0,5 mpa |
||||
Arbeiten Temperatur |
5-45 ℃ |
||||
Druck Vakuum Uhr |
0,1 ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton |
||||
statisch Mischkammer |
dia50 x 400 mm |
||||
Schnittstelle |
dia6 1/4 " |
||||
das Energieversorgung |
220 v |
||||
Größe |
600 x600x600 |
||||
gewellt Rohr |
kf25x1000mm |
||||
das Vakuumgrad kann mit diesem System erreicht werden |
10-1 der pa |
||||
Vakuum Prallventil |
kf25 |
||||
vrd bis 8 Vakuumpumpe |
|||||
Modell- |
vrd bis 8 |
||||
einschränkend Partialdruck |
5 x10-2 pa |
||||
Einlass Abgasschnittstelle |
kf25 |
||||
Motor- Geschwindigkeit |
1440 U / min |
||||
Extraktion Bewertung |
2.2 l / s |
||||
Motor- Leistung |
0,4 kw |
||||
perfeer acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2) |
|||||
Modell- |
acp15 |
||||
Leistung liefern |
ac100 ~ 240 V, 50/60 Hz |
||||
Leistung |
450 w |
||||
Auspuff Schnittstelle |
kf25 |
||||
Gewicht |
25 kg |
||||
das maximale Heliumleckrate ist |
5 · 10-8 pa m3 / s |
||||
extrem Vakuumgrad |
0,02 Torr |
||||
das Extraktionsrate ist |
14 m3 / h |
||||
Modell- |
zdr - 1 |
||||
Leistung |
25 w. |
||||
Vakuum Grad Messbereich |
0,1-10 5 pa |
||||
Widerstand Silizium |
Was zj musste 52 t |
||||
Schweden (Inficon) Pirani-Kapazitätsvakuummeter (optional) |
|||||
Modell- |
pcg554 |
||||
Eingang Stromspannung |
24v 1a dc (ausgestattet mit 220 v transformator) |
||||
Vakuum Messgerät Schnittstelle |
kf16 |
||||
Digital Anzeige |
Digital Display (Bildschirmgröße 20x14mm), dessen Datenanzeigeeinheit Torr ist |
||||
Produkt Größe |
46mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H) |
||||
das Gewicht der |
5 lbs |
||||
Erkennung von Gas |
verschiedene Gase können erkannt werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar. |
||||
ob der Korrosionsschutz |
Korrosion Schutz |
||||
das Reaktionszeit |
30 ms oder weniger |
||||
Messung Angebot |
3.8 x10-5-1125 Torr. |
||||
molekular Pumpeneinheit (optional) |
|||||
Einheit Eingangsspannung |
380 v / 220 v |
||||
gewellt Rohr |
kf40x1000 |
||||
Vakuum Prallventil |
kf40 |
||||
Fall Größe |
600 x600x600 |
||||
molekular Pumpenmodell |
fj620 |
||||
Eingang Stromspannung |
380 v |
||||
molekular Pumpeneinlassflansch |
DN160 |
||||
molekular Pumpenförderrate l / s (für Luft) |
600 |
||||
molekular Pumpengrenzdruck (pa) |
6 x 10-7 |
||||
Kühlung System |
Wasser abgekühlt |
||||
Kühlung Wasserdruck (mpa) |
0,1 bis 0,2 |
||||
Kühlung Wassertemperatur |
& lt; 25 ℃ & lt; p = & gt; |
||||
das Umgebungstemperatur |
0 ~ 40 ℃ |
||||
empfohlen Startdruck |
& lt; 100 pa & lt; p = & gt; |
||||
Motor Vakuumpumpe rvp - 6 |
|||||
Leistung |
0,75 kw |
||||
Stromspannung |
380 v |
||||
Geschwindigkeit |
1450 U / min |
||||
Einlass Durchmesser |
kf25 / kf40 |
||||
Pumpe Förderrate (l / s) |
6 |
||||
ultimative Druck |
4 x10-2 pa |
||||
Deutsche pfeiffer Vakuumpumpe |
|||||
Stromspannung |
220 v |
||||
Leistung |
110 w. |
||||
Extraktion Schnittstelle |
kf40 |
||||
das Gewicht der |
150 kg |
||||
Pumpe Geschwindigkeit der vorderen Pumpe |
0,9 m 3 / h |
||||
Extraktion rate (n2) |
33 Frau |
||||
Verbindung Vakuummessgerät |
|||||
Verbindung Vakuummessgerät Modell |
zdf |
||||
das Energieversorgung |
220 v 55 w |
||||
Steuerung Präzision |
Plus oder minus 1% |
||||
Vakuum Messbereich |
10-5-10 5 pa |
Teile |
Nummer |
tl1200-1200 Rohrofen |
1 Satz |
Quarz Tube |
1 |
ss Flansch |
1 Satz |
rostfrei Stahlhaken |
1 |
Aluminiumoxid Ofenstecker |
3 |
hoch Temperatur Handschuhe |
1 Paar |
Aluminiumoxid Tiegel |
1 |
K Thermoelement |
1 |
485 Schnittstellen und Software transformieren ( Optional ) |
1 Satz |
Anweisung Buch |
1 |
Flansch Unterstützung |
1 |
Gas versorgungs System |
1 |
vs-0.1air Extraktionssystem |
1 |
rf Leistung |
1 |
Zwinge |
4 个 |
brüllen |
1 |
Vakuum Prallventil |
1 |
Zyl Verbinder ( n steht für die Anzahl der Kanäle ) |
n |
Ventil Verbinder |
2 |
ptfe Pipe (n steht für Anzahl der Kanäle) |
n * 5 |
1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.
2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.
1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.
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3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.