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PECVD Furnace

3 temperaturzone 150 mm od pecvd ofen

  • Model Number:

    TMAX-1200-1200-1200

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Produktdetails

3 temperaturzone 150 mm od pecvd ofen


tmax-1200-1200-1200 System ist Bestehend aus T11200 Vakuumröhrenofen, Quarz Vakuumkammer, HF-Stromversorgung, Gasversorgungssystem gx, Pumpsystem und Vakuummesssystem.

Haupteigenschaften:

1. das Gas in Die Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.

2. pecvd ist niedriger als normaler cvd für chemische bedampfung.

3. der stress von Die abgeschiedenen Filme können durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.

4. pecvd hat hoch Abscheiderate, gute Gleichmäßigkeit, Konsistenz und Stabilität als bei normaler DVD.

5. weit verbreitet im Wachstum von verschiedenen Filmen, wie Siox, Sinx, Sioxny und amorph Silizium (a-si: h) usw.

der tl1200 - pecvd systemtechnik zum schwedischen kanthal widerstandsdrahtheizelement, unter Verwendung einer Doppelschalenstruktur und einer 30-Programm-Temperatursteuertabelle, Phasenverschiebungs-Trigger, Thyristorsteuerung, Ofen mit polykristallinem Aluminiumoxidfasermaterial, kann Flanschdichtung des rostfreien Stahls an beiden Enden Ofenrohr, Edelstahl Flansch Installation haben eine Mündung, Ventil und Manometer, Vakuum, Vakuumgrad kann 10-3 pa, Feld der niedrigen Temperatur erreichen Auswuchten, Oberflächentemperatur, Hebetemperatur, Energieeinsparung, Preis Zugeständnisse usw.

1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden

kanthal A1 original Draht chinesischen Widerstand Drahtofen vs   importierter Widerstandsdrahtofen

(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen ℃

(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf geachtet werden), rostet es nicht und die Nutzungsdauer sinkt nicht von der Schlacke.

(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen

(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com

(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut

Die meisten Hersteller verwenden mit Mo dotierte Fe-Cr-Al-Legierungen Widerstandsdraht, der

Manchmal ist der Widerstand ungleichmäßig und ein Teil der Hitze ist gering                                           kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärme ausgeglichen, gute temperatur feld                                                                                                                                                                       bewirken

2. Installation von Luft Schalter und Auslaufschutz:

wenn ein elektrischer Strom oder ein Leck, eine leere Sitzung automatisch trennt.

3. kann mit dem Computer verbinden

dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und ausgestattet Software, kann direkt durch die Ofencomputersteuerung von jedem sein Parameter und kann vom Computer pv auf dem Herd und sv beobachtet werden Temperaturwert und Gerätebetrieb, die aktuelle Temperatur des Ofenkurven-Zeichnungscomputer Realzeit und kann die Temperaturdaten von halten kann jederzeit abgerufen werden

4. Kammer

(1 ) hochwertiges hochreines polykristallines Aluminiumoxid Fasergehärteter Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.

(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.

(3). der Abstand und die Steigung des Widerstandsdrahtes im Ofen sind nach der besten thermotechnik japans angeordnet, und die Temperaturfeld wird durch thermische Software simuliert

(4). mit 4 Wochen Erwärmung ist die Temperatur ausgeglichener

5. fakultative ul zertifizierte elektrische Bord (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräte)

6. auslösen

weicher Start Strombegrenzungsauslöser                           Die meisten Hersteller verwenden nicht einschränkende Xiamen-Bode-Trigger

1 Phasenschieber (mit Sanftanlauf und Strombegrenzung) Funktion)

2. Strombegrenzungsfunktion, egal wie die Heizung eingestellt wird Zeit wir Elektroofen nach dem Transformator Sekundärstrom ist begrenzt auf 170a oder weniger eingeschränkter Schutz der Ausrüstung. nicht einschränkender Trigger wenn Die Heizrate ist falsch oder zu schnell eingestellt. Schwachstrom ist sehr groß das gerät löst aus oder brennt aus.

3 Softstart-Funktion Der Strom erhöht sich langsam Strom ist der Aufprall des Heizelementes gering und förderlich für die Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements

4 die Schutzfunktion, wenn der Strom den Grenzwert überschreitet Strom schaltet der Trigger die Triggerfunktion automatisch ab der aktuelle Schutzofen.

7. ul zertifizierter Transformator

1 Das Trafokabel ist rein Kupfer

2 Der Transformator klingt klein

3 ist die Transformatortemperatur niedrig

8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser 25 bis 250 mm)

Modell-

tmax-1200-1200-1200 - ich

tmax-1200-1200-1200 -ii

tmax-1200-1200-1200 -iii

tmax-1200-1200-1200 -iv

Schlauchgröße

120 (od) x1800mm dia

60 (od) x1800mm dia

Ø 80 x 1800 mm

100 (od) x1800mm dia

Gesamtabmessungen (lxdxh)

1800 x 480 x 680

1800 x 410 x 610

1800 x 410 x 610

1800 x 460 x 660

die Versorgungsspannung

220 v

Gleitschienenmaterial

Edelstahl 304

Schiebemodus

rostfreies Wälzlager

Anzahl der Phasen

einzelphase

Heizkörper

import schwedisch canthal a1 widerstand   Draht klicken Sie in den Daten-Download

der Steuermodus

mit der elektrischen Programmsteuerung   Thermometer (Standard)
1. 30 Programmsteuerungstemperatur intelligente PID-Einstellung.
2. Der Heizkreis des Elektroofens kann automatisch unterbrochen werden   wenn es durch Wärme geschützt oder versehentlich gebrochen wurde. (Wenn der Ofen   Temperatur 1200 Grad überschreitet oder das Thermoelement ist defekt, das Wechselstromrelais   Auf dem Hauptstromkreis wird automatisch die Verbindung getrennt, der Hauptstromkreis ist   gebrochen, das Licht auf dem Panel ist aus, das Licht aus, die begrenzte Schutz   elektrischer Ofen.
3. mit 485 kommunikationsschnittstelle (standard und standard für wahl   Software)
4. Es hat die Funktion des Stromausfallschutzes, das heißt, wenn der Strom ausfällt   ist aus, startet das Programm nicht von der Anfangstemperatur, sondern von der   Der Ofen beginnt zu steigen, wenn der Strom abgeschaltet wird.

Das Gerät hat die Funktion der Temperatur-Selbsteinstellung

(um das importierte Instrument zu ersetzen,   Wir müssen eine weitere Gebühr bezahlen.)

fp93   Temperiertabelle (Shimaden)

europäisch   Instrumente Berührungssensitiver Bildschirm   Instrument

der Temperaturregelungsmodus

pid

Gleichmäßiger Schutz und Display

Ja

Übertemperaturschutz

Ja

Überstromschutz

Ja

Kontrollgenauigkeit

+/- 1 ℃

der Auslöser

Phasenverschiebung auslösen

Elektrogeräte

Zhejiang Chint

silikongesteuerter Gleichrichter

106 / 16e Westtor, Deutschland

die höchste Temperatur

Temperaturzone 1: 1200 ℃ Temperatur   Zone 2: 1200 ℃

die Nenntemperatur

Temperaturzone 1: 1100 ℃ Temperatur   Zone 2: 1100 ℃

Erwärmungsrate

die 20 ℃ / min oder weniger   (kann entsprechend der Anforderung ändern)

empfohlene Heizrate

10 ℃ / min oder weniger

Modell des Thermoelements

Zonen 1: Temperaturbereich vom Typ k   2: k-Typ

Heizlänge

Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm.   2: 200 mm

elektrische Zertifizierung

ce

umgebende Oberflächentemperatur

45 ℃ oder weniger

HF-Stromversorgung

(Plasma   Generator)

Leistungsbereich

0-500 w

maximale reflektierte Leistung

200 w.

Arbeitsfrequenz

HF: 13,56 MHz plus oder minus 0,005%

Stromstabilität

+/- 0,1%

harmonische Komponente

- 50 oder weniger dbc

HF-Breite

0-600 - mm ist einstellbar

Matching-Modus

automatisch

Kühlmodus

Luft kalt

Lärm

die & lt; 50 db

die Hochfrequenzschnittstelle

50 Ω n - Typ

Eingangsleistung

208-240 - V 50/60 Hz

Hauptparameter der Gasversorgung gx   System

Massendurchflussmesser
das Standardsortiment
unter Verwendung des Protonenflussreglers 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm,   1, 2, 3, 5, 10 slm
(Sie können den Bereich des Bereichs und die Art des Gases wählen)
Maximaler Arbeitsdruck 3 mp
die Genauigkeit von plus oder minus 1,5%
der Druckabfall & lt; 0,01 mPa & lt; p = & gt;
Wiederholgenauigkeit plus oder minus 0,2% fs

Kanäle:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional)

Verbindungstyp

Doppelkassette Edelstahl   Verbinder

Arbeitsdruckbereich des Systems

0,1 ~ 0,5 mpa

Arbeitstemperatur

5-45 ℃

Druck Vakuum Uhr

0,1 ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton

statische Mischkammer

Durchmesser 50 x 400 mm

Schnittstelle

dia6 1/4 "

die Stromversorgung

220 v

Größe

600 x 600 x 600

Wellrohr

kf25x1000mm

Der Vakuumgrad kann mit erreicht werden   dieses System

10-1 der pa

Vakuum-Prallventil

kf25

vrd bis 8 Vakuumpumpe

Modell-

vrd bis 8

Partialdruck begrenzen

5 x 10-2 pa

einlass auslass schnittstelle

kf25

Motor Geschwindigkeit

1440 U / min

Extraktionsrate

2,2 l / s

Motorleistung

0,4 kw

perfeer acp1 ölfrei mehrstufig   Wurzelpumpe (Plan 2)

Modell-

acp15

Energieversorgung

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

Leistung

450 w

Abgasschnittstelle

kf25

Gewicht

25 kg

Die maximale Heliumleckrate beträgt

5 · 10-8 pa m3 / s

extremer Vakuumgrad

0,02 Torr

die Extraktionsrate ist

14 m3 / h

Modell-

zdr - 1

Leistung

25 w.

vakuum grad messbereich

0,1-10 5 pa

Widerstand Silizium

was zj zu 52 t hatte

schweden (inficon) pirani kapazität   Vakuummeter (optional)

Modell-

pcg554

Eingangsspannung

24v 1a dc (ausgestattet mit 220v   Transformator)

Vakuummeter-Schnittstelle

kf16

Digitaler Bildschirm

Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm),   deren Datenanzeigeeinheit ist Torr

Produktgröße

46 mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H)

das Gewicht der

5 lbs

Detektion von Gas

Es können verschiedene Gase nachgewiesen werden   einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar.

ob der Korrosionsschutz

Korrosionsschutz

die Reaktionszeit

30 ms oder weniger

Messbereich

3,8 x 10 & supmin; & sup5; bis 1125 Torr.

Molekularpumpeneinheit (optional)

Eingangsspannung der Einheit

380 v / 220 v

Wellrohr

kf40x1000

Vakuum-Prallventil

kf40

Gehäusegröße

600 x 600 x 600

Molekularpumpe

Molekularpumpenmodell

fj620

Eingangsspannung

380 v

Einlassflansch der Molekularpumpe

DN160

Pumpleistung der Molekularpumpe l / s (z   Luft)

600

Molekularpumpen-Grenzdruck (pa)

6 x 10 & supmin; & sup7;

Kühlsystem

wassergekühlt

Kühlwasserdruck (mpa)

0,1 bis 0,2

Kühlwassertemperatur

& lt; 25 ℃ & lt; p =   "" & gt;

die Umgebungstemperatur

0 ~ 40 ℃

Vorgeschlagener Startdruck

& lt; 100 pa & lt; p = & gt;

Motorvakuumpumpe rvp - 6

Leistung

0,75 kw

Stromspannung

380 v

Geschwindigkeit

1450 U / min

Einlassdurchmesser

kf25 / kf40

Pumpenförderrate (l / s)

6

Enddruck

4 x 10-2 pa

deutsche pfeiffer vakuumpumpe

Stromspannung

220 v

Leistung

110 w.

Extraktionsschnittstelle

kf40

das Gewicht der

150 kg

Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe

0,9 m 3 / h

Extraktionsrate (n2)

33 m / s

Compound-Vakuummeter

zusammengesetztes Vakuummessgerät Modell

zdf

die Stromversorgung

220 v 55 w

Kontrollgenauigkeit

plus oder minus 1%

Messbereich des Vakuummeters

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.


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1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.




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